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Si基板に溝?

1 :名も無きマテリアルさん:01/08/28 09:41 ID:zmcebbL2
Si基板(ウエハ)に溝を入れるような加工品があるんだけど、
これはどんな用途で使われるんでしょうか?

2 :名も無きマテリアルさん :01/08/28 10:17 ID:81qMVKCk
いろいろありすぎてそれだけじゃわかんないよ。
多分、光通信関係だと思うけど...。

もっと詳しく教えてみそ。
クライアントの名前を出せばなお結構(藁

3 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 10:54 ID:OaSmh4wg
1です。レーザー関係に用いたいとの話です。その上にさらに層を積み重ねていきたいとか・・・
ちなみにその溝が何個もあって、その基板を横から見ると櫛状になるような加工
なんです。ど〜いうものでしょうかね?

4 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 11:00 ID:seElgv62
>3
溝の寸法やピッチは如何ほど?

5 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 11:54 ID:OaSmh4wg
ピッチ幅がめちゃ狭い。1μm溝の高さは100μm

6 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 16:22 ID:JWYbp.ys
>1
薄膜の埋め込み性とかカバレッジ見るのにガンガン使ってます。
アスペクト5ぐらいだけど。10ぐらいのヤツは論文とかでしか見たことない

7 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 23:47 ID:iBqBcYPA
>5(=1)
ん?1μm幅で深さ100μmの溝を複数本入れてるって事?
その溝と溝との間隔(=ピッチ)はどのくらいなの?
って優香、そもそも1μm幅×深さ100μmの溝ってどう
やって加工するの?Deep-RIE?(そんなん外注するか?)

8 : ◆SoLltofY :01/08/30 01:47 ID:8lEcA/rM
test

9 : ◆31SOL0D. :01/08/30 01:48 ID:8lEcA/rM
$$$

10 : ◆v9vysR.k :01/08/30 01:48 ID:8lEcA/rM
j

11 :名も無きマテリアルさん:01/08/30 08:57 ID:yyQWxwBg
1=5=11です!!
そうなんです!1μピッチ幅ごとに1μ幅の高さ100μの溝を
つけられないかって話があってね、10マイクロ幅ならエッチン
グで可能なんだけど、1μは無理なんだ。何の用途かもはっきり
しないからどうしたもんかなと・・・

12 :名も無きマテリアルさん:01/08/30 13:17 ID:NrWMiskk
>11(=1)
7ですけど、1μ幅-100μ深さができないのは分かるん
ですが、10μ幅-100μ深さのエッチングなら外注で
やっていただけるんですか?ドライエッチング?

クライアントの用途はレーザー関係と言っているなら、
それ関係ですかね?私は詳しくないんで知りませんが。
マイクロリアクターのチャネル部に思えなくもないで
すけど...。

13 :名も無きマテリアルさん:01/08/30 17:52 ID:.EoAB6/A
1です!!ええ、エッチングなら外注でやってもらえるそうですよ〜
某メーカーで話は聞きました。
マイクロリアクターってどういうものなんですか?

14 : ◆Ym.cFSPE :02/03/26 00:23


15 :名も無きマテリアルさん:02/03/26 20:09
おらっ

16 :名も無きマテリアルさん:02/04/06 14:58
tet

17 : ◆GEX.HDlw :02/04/06 21:00
テスト

18 :名も無きマテリアルさん:02/09/21 05:37
1μm溝の高さは100μmのオーダーならMEMSに使用するんじゃないのかな


19 :qq:02/09/21 05:51
http://muvc.net/jsweb/profiles.html

20 : ◆1eNMzTCvpM :02/10/10 18:43
te

21 : ◆1eNMzTCvpM :02/10/10 18:44
t

22 : ◆rI8s23SQBA :02/10/10 18:44
t

23 :山崎渉:03/01/06 15:48
(^^) 

24 :山崎渉:03/04/17 09:46
(^^)

25 :山崎渉:03/04/20 04:12
   ∧_∧
  (  ^^ )< ぬるぽ(^^)

26 :山崎渉:03/05/21 22:07
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

27 :山崎渉:03/05/28 15:03
     ∧_∧
ピュ.ー (  ^^ ) <これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄〕
  = ◎――◎                      山崎渉

28 :山崎 渉:03/07/12 12:43

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

29 :山崎 渉:03/07/15 12:36

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

30 :名も無きマテリアルさん:03/07/19 12:58
       _,.、-t―、‐t- 、._
     ,.rヘ         ヽ、
    //            iヽ  
   ./ i               !ヽ
   l l                  l l
.   l. l  jillll:''''"    "'''':llli;; ! !
.    ! l    _    _    l l
    r┤ ⊂・ ‐'    `- ・⊃ r'ヽ
    l l              l i
   i .l      人_人      l. /
    ヽ !    /::::::::::::::::ヽ    r'´
      ヽ    /_二_ヽ    l
      ヽ            / 
         ヽ        ./
         ヽ、__,. -'´


31 :名も無きマテリアルさん:03/07/19 13:01
       _,.、-t―、‐t- 、._
     ,.rヘ         ヽ、
    /            i  
    i               !
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    l  jillll:''''"    "'''':llli;; !
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    r┤ ⊂・ ‐'    `- ・⊃ r'ヽ
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   i .l      人_人      l. /
    ヽ !    /::::::::::::::::ヽ    r'´
      ヽ    /_二_ヽ    l
      ヽ            / 
         ヽ        ./
         ヽ、__,. -'´


32 :ぼるじょあ ◆yBEncckFOU :03/08/02 03:22
     ∧_∧  ∧_∧
ピュ.ー (  ・3・) (  ^^ ) <これからも僕たちを応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄ ̄∪ ̄ ̄〕
  = ◎――――――◎                      山崎渉&ぼるじょあ

33 :33:03/08/02 03:25
33

34 :山崎 渉:03/08/15 18:18
    (⌒V⌒)
   │ ^ ^ │<これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  ⊂|    |つ
   (_)(_)                      山崎パン

35 : ◆9dYLE8z3D6 :04/07/30 02:53
35

36 :©αω :04/09/09 02:39
36

37 :名も無きマテリアルさん:04/10/23 22:59:59
いいスレだから盛り上げようぜ

38 :名も無きマテリアルさん:2005/05/01(日) 11:15:44
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【ラッキーレス】
このレスを見た人はコピペでもいいので
10分以内に3つのスレへ貼り付けてください。
そうすれば14日後好きな人から告白されるわ宝くじは当たるわ
出世しまくるわ体の悪い所全部治るわでえらい事です

39 :名も無きマテリアルさん:2005/07/19(火) 19:46:24
    r::::::::::::〈:::::::::)    ィ::::::ヽ
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【ラッキーレス】
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40 :名も無きマテリアルさん:2005/07/19(火) 20:02:48
V溝だったら光関係と思う

41 :名も無きマテリアルさん:2005/12/13(火) 08:18:24
si〜お〜れたちは〜

42 :名も無きマテリアルさん:2005/12/13(火) 13:47:04
このカキコを見たあなたは4日後不幸が訪れ44日後死にます。
それがいやならこれをコピペして5ヶ所にカキコしてください。
私の友達はこれを信じず、4日後に親が死にました。
44日後友達は行方不明に・・・・
いまだてがかりもな
<私はこのコピペを5ヶ所にはりつけました。すると7日後にかれしができ
10日後大嫌いな人が事故で入院しました。
しんじるもしんじないは勝ってです。


43 :名も無きマテリアルさん:2006/06/04(日) 12:44:17
http://academy4.2ch.net/test/read.cgi/philo/1136149825/150


44 :softbank220046082130.bbtec.net.2ch.net:2006/09/10(日) 17:34:53
erolist erolist

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