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真空待ちの人

1 :名も無きマテリアルさん:2001/08/16(木) 15:43
今どきこんなヤツは俺だけか。
オイルポンプだし。

2 :名も無きマテリアルさん:2001/08/16(木) 17:16
待ってまーーす。
そんでもって。
オイルを逆流させてしまいました。
さあ、研究室にいる奴全員集合。
「みんなで、拭こうね♪」

3 :名も無きマテリアルさん:2001/08/16(木) 18:11
ロータリーポンプをリークしたまま二晩動かしました。
中のオイルは全部なくなってしまい、
気づいたときには手で触れないぐらいに熱くなってた。
オイルを入れたら直るだろうか?
分解掃除でなおるだろうか?
それとも修理に出すのか!?
せめてもの救いはターボ動かしてなくて良かったこと。

4 :名も無きマテリアルさん:2001/08/16(木) 19:14
装置勝手に操作して、リークさせちゃった。
明日朝まで、何とかマイナス9乗Paまで真空下がらないと、
教授に怒られる♪(つぅか、まじどうしよう)

5 :3:2001/08/16(木) 19:46
>>4
それは大変。
でも4のボスは結構怒ったりするのか?
俺のボスは結構凄い事しても、笑ってすませてくれる。
しかも、俺ら学生が使い物にならんので
自分で実験してたりします。ごめんボス。
でも今日も、程良くサボらせてもらってます。(甲子園見たり。。
こんな俺は逝って良しですか?

あ、ロータリー復活した。日頃の行いが良いから??

6 :名も無きマテリアルさん:2001/08/16(木) 21:21
>4
明日の朝まで−9乗Paは無理でしょう。
大気圧からだとベーキングして最低2〜3はかかるのでは?
私はRP、ターボ、イオンポンプつかってまーす。
メータ操作して見かけ上だけ−9乗にしておけばwww

7 :名も無きマテリアルさん:2001/08/17(金) 05:24
うちの装置でガス導入用配管をロータリーで2日間
引きっぱなしにしてたんだけどこれってやばい?
配管油まみれ?

8 :名も無きマテリアルさん:2001/08/17(金) 07:26
>>7
配管が密封されているとすれば、配管内が真空になるだけですよ。
この状態でRP止め、RPリーク弁開かないでいるとRPオイル
が上がってきて配管内が油で汚れます。
また、単純にRPが大気を排気し続けると、RPの排気口からオイル
が噴出して、RP周辺が油まみれで汚れます。
まぁRPが大気引き続けると、RPの音が収束せずうるさくて気づくものですが。。

9 :名も無きマテリアルさん:2001/08/18(土) 15:50
♪リークしーちゃいましーたー(やっちゃったー)
 ピピッとー音が鳴ってー(なっちゃったー)

−9乗ってすごいなー 俺んとこなんか−7乗ぐらいで
「やっちゃえやっちゃえ」てなもんですわ

10 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 01:40
昔、真空待ちしたなぁ・・・。
RPの後、ディフュージョンポンプ使ってたなぁ・・・。
液体窒素を1時間に1回冷却タンクに補充したっけなぁ・・・。

さあ、何年前の話でしょう!

11 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 01:49
RP、メカブ、ディフュージョン、ターボ、イオン、チタン。。。
私も昔は、いろいろ使って真空待ちしました。

12 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 01:54
昔、夜中の3時に一人
窓の無いクリーンルームで
真空引いてました
さすがに鬱になりました

13 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 01:55
>>10
いま、遠い目をしたでしょう?
>>11
あなたも。

14 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 02:39
うちの研究室もオイルポンプだ・・・
このまえオイル飛び散って服にかかっちゃったよ・・・

15 :172:2001/08/19(日) 12:05
10、11の人みたいな話聞くと、真空技術ってそんなに進歩してないのです
かねぇ。同じようなポンプの名前ばかりだし。

16 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 14:28
あげ

17 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 15:10
待ってマース、引けたら、石英14mm管封入しマース
失敗したら鬱死

18 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 15:46
3時間でー6乗ってどゆこと?
みんなどれぐらいの時間でどれぐらいTorrまで引けてるの?

19 : :2001/08/19(日) 16:20
完全な真空ってなんでできないんですか?

20 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 19:42
うちは小一時間あれば6乗台には行くぞ

21 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 19:56
http://bom-ba-ye.com/a.cgi?as-toro=7

22 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 21:56
あのーずっとPa単位で話し見てました。。。
学生さんが多いと思うけど、いまだにTorrなんですか?
それとも使ってる真空計が古く、表示がTorrだからですか?

23 :名も無きマテリアルさん:2001/08/19(日) 23:39
ウチ貧乏だからそうそう機器更新出来ないからね・・・
つか壊れるまで更新できね。
真空計も買えないウチって・・・フフッ
わざと壊しちゃいたい(はぁと

ねよねよ・・・
明日には切れてた試料もきっと届くだろう・・・

24 :名も無きマテリアルさん:2001/08/20(月) 16:36
>>22うちもTorrだよ
一応真空計に、PaとTorrが一緒に表記してあるけど
先生がTorr、Torrうるさいので皆Torrを使ってます

25 :まの字:2001/08/20(月) 22:30
>>22
 先生の出身畑によってTorrを使っているかPaを使っているか決まる
様なことを昔聞いた気がする。

26 :名も無きマテリアルさん:2001/08/20(月) 22:34
うちもデフォルトでTorr。

27 :名も無きマテリアルさん:2001/08/20(月) 23:03
まぁ新品でもTorr表示のものあるよなぁ。
でも論文書くときはPaにしてる。
つーか、すべてPaで統一せいっちゅう話になってるハズなんだが。

28 : :2001/08/21(火) 02:38
mmHgだけど何か?

29 :名も無きマテリアルさん:2001/08/23(木) 06:52
うちもtorrです。教員がPaに対応できないから。

30 :名も無きマテリアルさん:2001/08/24(金) 16:55
うちもTorr!っていうか、Paのひとが少ないのは何故???
>27 そうそう、論文だとなぜかみんなPa

31 :名も無きマテリアルさん:02/02/01 07:41
待ってるぞ

32 :名も無きマテリアルさん:02/02/01 09:27
>>31
俺もだ。つうかサンプル一個失敗した、透過パターンがキラキラ。

33 :名も無きマテリアルさん:02/02/01 09:54
なんかターボから変な音が。。。。
おいバリアン!

34 :名も無きマテリアルさん:02/02/02 02:31
実験、工学はTorrと勝手に予想
さ〜て、今日も引いちゃうぞ


35 :名も無きマテリアルさん:02/02/04 03:43
真空待ちでデートの待ち合わせに遅れたYo!
もちろんフラレタYo!

こんな地下実験室でなんか彼女一生できないYo!
何のためにいままで人生頑張ってきたんだろうと疑問に思う毎日。
最高学府なんて何の意味もないYo!
私大文系の奴らなんて、院いかずに出世して
かわいいOLと週末は遊んで気持ちいいことして
いいなーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー!
浪人のときに想像したのと違うよなー。
意味ねぇーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー!

こんな休日の夜中にうるさいロータリの音が身にしみるYo!

36 :名も無きマテリアルさん:02/02/04 04:16
真空待ちの間に論文の一本や二本読めば
カナーリ頭良くなる。
とわかっていながら2ちゃんやってしまう駄目なオレ。。

37 :名も無きマテリアルさん:02/02/04 05:12
>>35
K帝国の学生ハケーン

38 :名も無きマテリアルさん:02/02/06 06:34
泣けるね。お互い。
朝6時30分。早く帰りたいけど
11時からMeetingだよ。(泣)

39 :名も無きマテリアルさん:02/02/06 17:41
>36
待ってる間、マガジンやサンデー読んで来ます

40 :名も無きマテリアルさん:02/02/06 17:45
今の時期は乾燥しているから真空引きも3時間程度(10-4Pa)で済むけど、
梅雨の時期はほんとに泣けるな。


41 :  :02/02/06 22:42
>>40
おいおいどんなポンプつかってンだ?
もっといいの買ってもらえ(w

42 :おXXこ:02/02/07 04:24
>>40
季節に影響してるようだから
バカ漏れしてんじゃないの?

それにしても
きゅ〜〜〜インって音は気が狂うね


43 :名も無きマテリアルさん:02/02/07 04:57
>>42
毎回ブレイク系じゃない?

44 :40:02/02/07 12:46
15年物のDPだ。
漏れているわけじゃないよ。
試料交換する時、チャソバー全開ですから。


45 :  :02/02/07 13:47
>>44
だからターボぐらい買ってもらえって(w

46 :名も無きマテリアルさん:02/02/07 16:03
ビンボーだから無理だな(藁

47 :名も無きマテリアルさん:02/02/07 20:46
俺も真空引き中。
まもなく焼きます。

48 :名も無きマテリアルさん:02/02/07 23:30
貧乏なら負けないヒックマンなんて君たちしらないだろうな。最近はHgの入手も
困難になってきている。ああ 憧れのターボさま!!

49 :名も無きマテリアルさん:02/02/07 23:33
間違えてリークしちゃったんだよね。
んでも、教授が巡回に来るからさ、真空下げなきゃ行けなかったのね。
で、俺が取った行動は、チェンバーにエキチぶっかけ。
結果は聞かないでください。


50 :名も無きマテリアルさん:02/02/07 23:34
>>41-42
水って重要じゃない?
ベーク時間にかなり効くと思うんだけど。

51 :名も無きマテリアルさん:02/02/10 10:06
ターボポンプ使いながらRFプラズマつけてる人います?
ノイズを落としきれなくてたまに位相エラー起こすんですが。

52 :名も無きマテリアルさん:02/02/10 16:32
>>51
それ、かなり昔のターボだな。キンキンキンとか音がするだろ。
最近のはそんなエラーは起こさくなっているけどね。
アースをいっぱい取るんだね。電源ラインにノイズフィルターを
入れると効果あるかも。

53 :51:02/02/11 15:47
<<アース

。。。これが結構大変なんですよね。要経験
やみくもにグランドとりまくってもループになるだけだし
、一点アースで敷きなおしてみるかのー

54 :名も無きマテリアルさん:02/02/11 21:42
しょうゆチュルチュルと液窒入れるサイフォンと
どっちが先に発明されたんですか?

55 :名も無きマテリアルさん:02/02/15 02:03
ターボはやはりバルザースが一番か

56 :名も無きマテリアルさん:02/02/15 06:08
varian

57 :名も無きマテリアルさん:02/02/15 09:42
真空挽きは時間がかかるね…。

58 :名も無きマテリアルさん:02/02/15 17:37
スパッタ装置の窓からプラズマリング眺めながら
どおかんっといかないか
いつも心配でしょうがなかった

59 :名も無きマテリアルさん:02/02/15 18:18
一年以上真空装置放っておいたんだが…
今ごろどうなっているだろうか…
ベークすれば戻るかなぁ…

60 :名も無きマテリアルさん:02/02/15 22:48
>>56
今までに使ったことがあるのは
バルザースとバリアンと三菱
でも信頼性からいうと
バルザースが一番と思うのですが

61 :名も無きマテリアルさん:02/02/16 00:41
>>58
スパッタならアルゴンだろ。いくわけないじゃん
窓から眺めて綺麗なのは、シランのプラズマ発光色
ただし、漏れたひには、まじにドカーンといくが

わしゃシランとかいう、ありふれた駄洒落はナシ

62 :名も無きマテリアルさん:02/02/16 01:09
三菱のターボって車みたいだけど、あるんですかね?

セイコーの磁気浮上は使ったことある。


63 :名も無きマテリアルさん:02/02/16 01:20
三菱のターボは、かなり昔からあるよ。
でも、セールスのYさんが亡くなってから、迫力なくなったなぁ。
セイコーはつい最近、真空ポンプ部門ごと、どこかに身売り
したんじゃなかったかな。

64 :58:02/02/16 01:27
>>61
その通りです。はい
3年程、RFで希ガスAr:酸素=8:2でスパッタしてたんですが
リークばりばり出て、リングが安定してないのを見て
かけてる電圧が電圧なので、少しばかり不安になるんですよね
大丈夫だとは言うものの。。。


65 :名も無きマテリアルさん:02/02/16 02:13
真空度計でピラニゲージは本とかに原理が書いてあるんだけど
ピラニよりさらに高真空度用らしいイオンゲージって
どんな原理なんです?

66 :TiN ◆JJerJdf6 :02/02/16 07:02
熱電子で残留ガスをイオン化。
そのイオンをコレクタ電極で集める。

イオンゲージって電離真空計のことだよね?

67 :親切な人:02/02/16 11:12

合法品の「コピーガードキャンセラー」を
手に入れました♪♪♪

下記のホームページから買いました↓
http://www.guruguru.net/auction/selleritem.php3?list=10&userid=17721

68 :SCED:02/02/16 12:20
>>64 リングが安定していない
あんまり反射が大きいまま放電続けていると
電源をいためるから気をつけてね!

69 :名も無きマテリアルさん:02/02/16 22:20
TBSで
紙幣吸い付けとして銀行のATMに
ロータリーポンプが使われてるというのをやってました
そんなのにもロータリー使うんだと思いました。

70 :名も無きマテリアルさん:02/02/17 00:27
>>69
それ、俺も見た。
ロータリーで宇宙と同程度の真空が得られるとか言ってたな。
こちとら商売上がったりだわ。

71 :名も無きマテリアルさん:02/02/17 03:19
私は、みなさんのような超高真空は必要ないんですが、
2x10-6 Torrまでいくのに3時間以上かかる
ディフュージョンポンプ使ってるのって
ヤバイですか?

72 :名も無きマテリアルさん:02/02/17 03:44
油回転、油拡散で1x10-6 Torr到達まで
1時間くらいだったかなあ大学ん時
確かに3時間は遅いかなあ
油交換とか必要な時期なのかもしれませんね
どっかがリークというのは無しとして

73 :794:02/02/17 04:35
                   ,、
                  / .\
                /ζ 禿  \
              / ̄ ̄ ̄ ̄\.\
. ________,/         \\________
 \           //\    \  /  | ̄\            /
   \  叩   /  |||||||   (・)  (・) |  \  騙   /
    \   /   (6-------◯⌒つ |  / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
      \/    |    _||||||||| | < カツヲめ、またワシを召還しおったな!
      /\     \ / \_/ /   \___________
    /   \   (( \____/ ))    ./   \
   /  逝   \                 /  煽   \
 /         \ ________/         \
   ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄\         / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
               \  氏   ./
                \   /
                  \/
http://www.puchiwara.com/hacking/

74 :名も無きマテリアルさん:02/02/17 14:36
ポンプの排気量、チャンバーの容積...
いろいろあるじゃん?

75 :くらいお社営業:02/02/17 21:58
くらいお、くらいおポンプは〜いかがっすか〜
今なら不景気でお安い、くらいおポンプはいかがっすか〜

ドライポンプ、ターボポンプとの組み合わせで50Lチャンバー6h
でひきまっせ〜

76 :くらいお社営業:02/02/17 22:01
あ、何Torrまで引くのかわすれてた(w

77 :名も無きマテリアルさん:02/02/18 17:23
みんなは何Torrまでいってる?
うちの研究室の最高は、3×10^-9Torr

78 :名も無きマテリアルさん:02/02/18 18:29
5X10^-9 Pa
TMPをタンデムにしてます。

79 :名も無きマテリアルさん:02/02/18 22:49
>77,78
真空度だけ聞くと「ナニ、−9乗? スゲェじゃん」って思うが、
チャンバの大きさはどれ位なの?
実際のところ。

電離のフィラメント切れる間際だったりして…(藁。
てか、−9乗オーダーの真空度を測れるかどうか忘れたが。

80 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 00:54
>>79
MBEですね、MBEでは当たり前の世界みたいです
-9乗なんて
3〜5×10-10Torrというのもあるみたいです。検索してみそ
となり研究室はMBEでターボで引きつつ
チャンバー全体を液窒に浸して真空度上げてます
だから、一夜で人の背丈ある液窒タンク使い果たします。
知ってるとは思いますが、液窒でチャンバーに浸すのは
冷やしてガスを壁に吸着させて真空度を上げるためです

81 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 01:20
冷やしちゃうのか。
そんな手もあったか。

82 :78:02/02/19 20:57
結構、小さいチャンバーです。
STMですわ。ゆえにパスカルで9乗。

83 :77:02/02/19 21:24
うちはMBEです。
チャンバーは結構ちっちゃいです。
0.5立方メートルぐらいかな?
パスカルでも9乗いくのか・・・すごい
ちなみにチャンバーのまわりに水冷管を巻き付けて冷やしてます

84 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 22:24
5×10-9Pa≒3.5×10-11Torr
Pa表記だと分からんので濡れのための自己レス
わたしは6年前に引退したんですが、
Torr表記とPa表記どっちが多いでしょか?
使ってる真空計の表記によるんでしょうけど。。。
ちなみに私が使ってたのにはTorrメモリの下にPaメモリが書いてあったけど
圧倒的にTorrメモリばかり見てた。。。

85 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 22:47
どっちかという問題じゃなくて、ISOか何かでTorrをやめてPa表記に統一する
という決まりが出来たんじゃなかったかな。
だからレポート類すべてPa表記。 毎回変換するのがめんどぉー

今使っているチャンバーで、3x10-6Pa て所で並かな。
チャンバー内径φ450 あるが。

いつの間に到達真空度自慢大会になったんだよ。 w)

86 :83:02/02/19 23:01
うちは『Torrのほうが数字が低いから真空度が低く感じられる』
と言う担当助教授の勝手な言いぶんでTorrで表記です。
>>85
真空まちのスレの自慢は真空度ぐらいしかないので(w

87 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 23:18
チャンバーなのかチェンバーなのか?


88 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 23:19
ベントなのかリークなのか

89 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 23:20
真空→大気 ベント?

90 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 23:20
パージは?

91 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 23:34
chamberは辞典を開くとチャじゃなくてチェが正しいような
発音記号がようわかりまへん。。。eの上に’が付いてる記号はエと発音?
MBEで光の超格子やってる、講義中「CuInSe略してCIS、ロシアの連合国家体もCISで
CISはロシア人が最初にやった」と言う教授がチャンバーじゃなくてチェンバー
なんだよ、でも日本人チェンバーっていいづらいからチャンバーって言ってしまう
んだよねって言ってた。
ベント。。。初めて聞いた言葉だ。。。


92 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 23:41
ダ・パンプ


93 :名も無きマテリアルさん:02/02/19 23:55
5x10-9Pa って英語でなんて言えばいいの?
ごかけのマイナスきゅうじょう  の かけがわからん

94 :名も無きマテリアルさん:02/02/20 00:03
>>69
遅レスで申し訳ないけど、
うちのぼろいIPリーダーは、
なんとIPの平面吸着にRP使ってるYO!

95 :真空封入中:02/02/20 00:08
>93
five multiplied by ten to the minus ninth power Pa

でいいのか・・・・な?

96 :名も無きマテリアルさん:02/02/20 00:12
真空封入中って
ポンプで引きながら、ガラス管をバーナーで封入?
なつかしいなあ、その後アニール炉ですか?
ものはなんですか?

97 :名も無きマテリアルさん:02/02/20 00:20
うちの蒸着槽は30分で2×10-7Torr。半日ベークで
5×10-10Torrにいくよ。
STM槽は2×10-10Torr。

っていうか、4年なのにSi(111)7×7にAgを蒸着して
STMで測定。卒論は助教授の論文のネタ。鬱...


98 :名も無きマテリアルさん:02/02/20 00:21
>>94
IPリーダ?
IPって?
InternetProtocol?それともASICとかのIPマクロとかのIP?
IPってなんだ

99 :97:02/02/20 00:21
蒸着槽は三菱、バリアンのタンデムターボ。

100 :真空封入中:02/02/20 00:25
>96
そのとーりです。
モノは、Ti-Niです。
1×10-6Torrまで上がるのを待ちながら、
ニュー速プラス見てます(w

あ、LN2入れて来なきゃ。

101 :真空封入中:02/02/20 00:28
そういや、94では名前入れてなかった・・・。

>98
Imaging Plate。
電顕屋さんかX線屋さんじゃないと縁がないのかな?

102 :100ゲット:02/02/20 00:29
94じゃないけど

IP イメージングプレート
 現像のいらない直接読み取りできるX線フィルムみたいなもの
 X線回折で使うみたいよ
 



103 :100じゃなかった鬱だ:02/02/20 00:30
 


104 :名も無きマテリアルさん:02/02/20 00:31
一番丈夫なTMP・・・ファイファーと大阪真空 大気突入しても大丈夫なシリーズあり。
一番シェアを持っているTMPメーカ・・・セイコープレシジョン 5割以上あるらしい。
一番水素の圧縮比が高いTMP・・・三菱 タンデムの2台目にお勧め。
一番うるさいTMP・・・大阪真空 だけど安いので仕方ありません。


ところでゲートバルブのランキングはどうよ?やっぱVAT?

105 :真空封入中:02/02/20 00:31
>>102-103
申し訳ない(w

106 :94:02/02/20 00:33
VATでしょう。

107 :名も無きマテリアルさん:02/02/20 00:46
ガラス管封入って
濡れのときは銅酸化物超伝導体で還元剤と一緒に封入して
アニール炉で酸素抜くためにやってた手法だったけど
けっこう物性ではいろんなとこでやってるんですね。
勉強になりますです

108 : :02/02/20 00:50
今はどこのTMPでも、大気突入で壊れない、というのはあたりまえになっている。 
結局、技術的にはどこも50歩100歩で、価格競争の世界になっている。

109 :名も無きマテリアルさん:02/02/20 00:51
最強のポンプはやっぱクライオ?

110 : :02/02/20 00:58
クライオはすごいね。でも、あの、ゴトゴトゴトという音が嫌い。

111 :名も無きマテリアルさん:02/02/20 01:22
クライオポンプってヘリウムで冷やして引くのか。。。
確かに冷凍機の音とかすごそうなな感じがする。
見たことないけど。
ヘリウムなんてクライオスタット使用するとき意外お目にかかんないし
クライオスタットは水分引き損なってガラス面が霜に覆われ鬱になり
最悪、100万するオーダーメイドのクライオスタットを割って鬱になる
後輩君はクライオ割って顔面蒼白の鬱になってた。。。

112 :名も無きマテリアルさん:02/02/20 04:17
徹夜で真空待ちのみんな起きてるかあああ!!!
ディフュージョンにLN2くべるのを忘れてないか
寝ちゃだめだぞ!定期的にくべるんだぞ!!
誰か全自動LN2くべる君発明してくんないかあ...

113 :名も無きマテリアルさん:02/02/21 03:48
>>93
いろいろあるけど、口語でどれがもっとも頻繁に使われるのかは
知らないよ

five times ten to the minus 9th (power).
...to the minus 9.


114 :名も無きマテリアルさん:02/02/24 02:59
naruhodone


115 :さっぷ:02/02/25 21:58
昔装置をベークしようとして、リボンヒーターのスイッチ入れたら煙出てきて燃えそうだったからあわててべーく終了。

116 :名も無きマテリアルさん:02/02/25 22:07
油拡散ポンプ使って停電に遭いました。
室内の蛍光灯ついてたから、全然気づかなかった・・・。
チャンバーの中、油だらけ・・・。

117 :さっぷ:02/02/25 22:18
研究室の後輩が、私がチャンバーのメンテナンスのためにリークしてたのに、調べず真空計の電源を入れフィラメント焼ききりやがった。

118 :名も無きマテリアルさん:02/02/28 00:41
あぁ〜っ、くそ、クライオにロータリーの油ちょっと逆流させちゃったよ。
鬱死。

119 :名も無きマテリアルさん:02/02/28 16:34
50リットル-8乗torrまで引くのに約半日
しばらくベークもしていないからなぁ

120 :名も無きマテリアルさん:02/03/01 01:45
うちは-11乗まで行かないと実験になんないから、ゆっくりやって時間はあんま気にしないんだけど、ここ見てると真空引きってスピードも重要なんだなあと思う

121 :さっぷ:02/03/03 18:51
どんなポンプ使ってるの?うちはー9乗前半。

122 :名も無きマテリアルさん:02/03/03 22:56
うちは真空蒸着だから-6とか-7[Torr]で十分。
油拡散だから激烈に遅いけど・・・(涙)。

123 :名も無きマテリアルさん:02/03/03 23:57
うちのロータリーポンプ、油漏れしてんだけどこれってやばい?

124 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 00:08
RP油漏れって、焼き付かない?

125 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 00:22
さっき確認したらロータリーポンプの油があふれてる。
だれだyo!こんなに給油したのは。
学科共有だから犯人も分からん。


126 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 21:34
かなり発熱してるけど、焼きつくまではいってないよ
真空悪いのはこいつのせいか?

127 :宇多田ヒカルさんの将来の旦那ですヽ(`Д´)ノ ◆.rHIKARU :02/03/04 22:00
もしかしたら、真空でも戦える戦闘機とか開発してしまいかもしれない。
 
俺は・・・・

 
なんと おそろしい


128 :名も無きマテリアルさん:02/03/05 00:33
ワケワカラン.

129 :名も無きマテリアルさん:02/03/05 01:11
ディフュージョンポンプの原理を教えてください。
真空を取り扱ってますので多少専門的な話でも理解できます。
大まかな理解はしていたつもりだったのですが、液N2を要するタイプを見て以来、ちょっと自分の考えに修正が必要と思えてきました。

130 :検索くん:02/03/05 07:00
>>129
http://www.arios.co.jp/untiku.htm

131 :名も無きマテリアルさん:02/03/05 11:04
あ〜ぁ、いい加減、真空封入に使うDPをTMPにしてほしい・・・。

でも、封入に失敗したり、石英管割ったりすること考えると
現実的には無理か・・・鬱



132 :Y本:02/03/05 11:52
真空待ちの間は、みなさんは何をしているのですか?
ぼくは、MXでエロ動画をDLしてます。

133 : :02/03/06 21:20
ベークヒーター触って火傷した。

134 :名も無きマテリアルさん:02/03/06 21:45
>>129
液体N2は蒸気となった油が、低圧側に侵入するのを防ぐためのものだから、
それ以外は液体N2を使用しないDPと同じ。


135 :CVD屋:02/03/09 11:00
おまえら真空引きすぎ
うちの会社じゃ1×10−1乗(Pa)いけば良い方だ
 (容量110L、ドライポンプ+メカブ)

136 :名も無きマテリアルさん:02/03/09 11:18
>>135
CVDはガス導入するからだろ
それに真空度ある程度上げんと
物の質が悪くなる...

137 : :02/03/09 13:58
0.1PaでCVDをやっているって・・・ ( ´,_ゝ`)プッ

138 :Y本:02/03/09 17:57
>>132のY本です。
どうして誰も答えてくれないのですか?
一般的にいって、ぼくをいじめていると思います。
みなさん、冷たいですね。

139 :名も無きマテリアルさん:02/03/09 22:42
>>138
Y本って名前の奴身近にいるんだが君なのか?

140 :Y本:02/03/10 00:33
>>139
ぼくのことを知っているんですか!?
人がどう見るかは分かりませんが、自分では美男子だと思っています。
ぼくの特徴を書いてもらえれば、本人か否か分かります。


141 :名も無きマテリアルさん:02/03/10 01:53
キモイよ、、
一般に使用するにも、場合によっては火傷しますよ〜。

142 :【真性】フランケソシュタイソスタイル【キ印】:02/03/10 03:45
MXにより、無駄な精力が溢れんばかりに沸き上がり、砂漠化促進。
スーツ装着時、絶妙な割合の横分けというステキ仕様になりますが、何か?

143 :Y本:02/03/10 19:34
>>142
あなた誰ですか!?
あの”絶妙な割合の横分け”は学歴ない人には分からんのです。
もしかして、ぼくをヲチしているストーカーですか!?


144 :Y本:02/03/10 19:54
>>142 追記
>【真性】フランケソシュタイソスタイル【キ印】
ぼくが、”フランケンシュタイン?のような額”をしていると
言いたいのですか!?

145 :139:02/03/12 10:34
>>140
最近見ないと思ったら、こんなとこで時間つぶしてたのね。
ちゃんと研究室に来なさいYO!!

146 :名も無きマテリアルさん:02/04/02 15:20
鉄鋼の溶鋼二次精錬のRH真空脱ガス方式のブースター・エゼクターに使用する
気体は何故蒸気なのでしょうか?

147 :名も無きマテリアルさん:02/04/02 19:40
ところで、回転ポンプ油って、フッ素系か鉱物系か程度の違いでみんなおんなじ?
蒸気圧性能のいい奴ってあるの?値段とか同じようなもん?
教えて君でごめん・・・いままでエドワーズとかアルカテルとか
アルバックとか適当に使ってたから

148 :名も無きマテリアルさん:02/04/09 20:13
MDCのHPすっげー重いっ

149 :名も無きマテリアルさん:02/05/03 02:38
三菱ターボポンプ シンクーンって名前に脱力してしまいます。

150 :名も無きマテリアルさん:02/05/03 09:59
>>112
うちの会社のスパッタに付けようとして大失敗した。
液面センサーが問題で、熱電対とレーザーを試したが誤動作が多くて無人動作
なんて無理だった・・・

151 :名も無きマテリアルさん:02/05/09 00:15
なんか懐かしいな、真空引き。
漏れも大学の研究室でいじってた。
エミッション実験用途なので-10乗Torr台必須。
スタートは常に大気圧からね。
漏れのところ粗引きはロータリ+TMPのコンビネーションポンプ。
15分程度ロータリで引かせてからTMPオン。
んで定常回転しだしてからおもむろにイオンポンプ起動。
ようやくTMPが回り始めた程度の真空でイオンポンプ立ち上げるので
電流流れすぎ。すぐに電源落ちるが力強くon/off繰り返したら
そのうち安定しだす。
2時間位したら1x7乗Torrまで逝くので200℃でベーキング開始。
ここではTMPのみで引かせる。
あ、教授がいないときは250℃オーバーで(w
12時間程でベーク終了。後は2,3時間イオンポンプで引かせとくと-10乗台前半達成、実験開始。
あー、懐かしい。
何度9乗台で涙を呑んだことか・・・つД`) うえーん

152 :高々 -7乗 でしたから。:02/05/10 02:56
-10乗台なんて想像つかない(藁。
チャンバの洗浄とかシール(銅パッキン?)とかも相当気を使ったんでしょうな。

153 :名も無きマテリアルさん:02/05/10 23:17
ターボ分子ポンプでチンポひいたYO

154 :名も無きマテリアルさん:02/05/11 01:06
>>153のチソポはスライスされますた

155 :名も無きマテリアルさん:02/05/11 03:23
スライスじゃ済まないんじゃないか?(藁

156 :名も無きマテリアルさん:02/05/11 23:25
俺、高さ2mのDP見たことある。
あれまだ使ってんのかな?

157 :名も無きマテリアルさん:02/05/15 23:42
夏は研究室エアコン効いてるから、
うまくいけば-10Pa超えたなぁ。

158 :名も無きマテリアルさん:02/05/16 01:40
みんな、真空漏れテストってどうやってるの?
漏れ無し高級機材しか使わんの?

159 :名も無きマテリアルさん:02/05/16 02:15
漏れテスト?
フランジの継ぎ目に注射器でメタノールをチュ〜ッと垂らす程度。

ウチの研究室の真空レベル:10^-6から10^-7Torr。

Heりーくでてくたは見たことなし。
Q-MASSがあったから、それでモニタリン具したことはあった。

160 :名も無きマテリアルさん:02/05/16 23:18
>>157
-10Paってどうやって測るの?
確か電離真空計だと軟X線効果の影響で、測定限界はせいぜい9乗台だと記憶してたが・・・。

161 :名も無きマテリアルさん:02/05/17 02:28
手元にある「真空ハンドブック」を見てみると…。

熱陰極電離真空計で『ヘルマー型』というのが辛うじて10^-10Paが
測れるそうだ。
そのヘルマー型って言うのがどういうのかはワカラン。
恐らくヌードゲージタイプ。

マグネトロン真空計は、超高真空向けだと 10^-11Pa!!

>157
校正してるか?
ガス種によっては相対感度が変わってくるぞ。
真空計の指示値もだ。

って常識だよなぁ。

162 :名も無きマテリアルさん:02/05/17 23:22
>>161
10^-11Paだと極高真空だと思われ。
しかし、10^-11Paって用途はなんだろう?


163 :161:02/05/18 12:48
極とか超とか高とかどうでもいいっす。
全く意味無い。
用途は俺っちも気になる。



今の仕事辞めて真空屋になりたくなってきた。

164 :名も無きマテリアルさん:02/05/26 23:27
DPの原理でジェット気流の他に気体の油への溶解度も
関係するって聞いたんだけど・・・
油の温度変化によってポンプ内に気圧差を作るとか。

誰かこの話聞いたことある?
ただのデマ?

さ、真空ひけたか見てこよっと。

165 :名も無きマテリアルさん:02/06/01 04:40
>>164
まてまて。
溶解して、そのあとどうなるのさ。
DPのオイルってそんなに頻繁に代えるものじゃないでしょ。

デマに変造500ウォン

166 :名も無きマテリアルさん:02/06/18 13:07
ULVAC最近どう?
メンテ部分で信頼できるんかな?


167 :名も無きマテリアルさん:02/06/19 00:25
あげ

168 :名も無きマテリアルさん:02/06/23 23:41
ターボポンプだけど、中国産だと日本製の1/10程度まで価格が下がるようですね。
メンテナンスコストを一切考えずに、壊れたら交換という考え方で使用したら
かなり安上がりだと思うんですが、そういう需要ってあります?

169 :名も無きマテリアルさん:02/06/25 01:03
>>168
すぐロックしてフィンがこなごなになるんでないの?
ベアリングもすぐ玉抜けそう (藁


170 : ◆n29mS/U2 :02/06/25 01:56
chinnko

171 : ◆.qhTrU9Y :02/06/25 01:57
@

172 :名も無きマテリアルさん:02/06/26 00:08
>>168
壊れたら交換って簡単に言うけど、真空装置の交換はオオゴトでしょう
その前後はとても実験できないしさ

173 :名も無きマテリアルさん:02/06/26 22:22
>>168 の実験室(&研究室)は息が詰まりそうな程の真空状態で、
   ポンプ交換してもすぐ実験再開できるという罠。

174 :名も無きマテリアルさん:02/06/27 17:43
うちのDPの冷却は、水冷式なのですが、ちょっと前
4年の奴が手違えかなんか知らんが、排水バルブをとじやがってよ(怒
もう水祭りよ、水祭り。

ホースが破れて噴水状態。発見するまでの30分ほどで余裕で床上浸水。
ひざ下半分ぐらいまで水きてたよ。
もー最悪でしたわ。こんな体験ほかにもきぼんぬ。


175 :名も無きマテリアルさん:02/06/28 01:04
うちのDPの冷却は、空冷式なのですが、ちょっと前
4年の奴が手違えかなんか知らんが、空冷ファン回ってないのを気づかずに
ゲートバルブ開けやがってよ(怒
もう油祭りよ、油祭り。

DPに直結しているチャンバーにはオイルがついててさ。
とりあえず、中身が焼け焦げてないかどうか、開けて確認することになってさ。
ネジひとつはずすのにも一苦労でしたよ。
まあ結局、油量とか大丈夫だったし、
DPの中見るなんてもう一生ないだろうから、良しとしますよ。
もー心配でしたわ。こんな体験ほかにもきぼんぬ。

176 :名も無きマテリアルさん:02/06/30 23:44
>>175
DP普通サーマルSWついてるじゃん

177 :某サービス会社社員:02/07/01 16:25
>>175
しょっちゅう作業やっていますが何か?

178 :名も無きマテリアルさん:02/07/09 02:00
ああ、なつかしいなあ。
大学の研究室の学生さんが多そうだね。
漏れ駅弁国立大だったから、センター試験の日は当然入れない。
でも装置はRP+油拡散ポンプ+liq.N2トラップで真空引いたまんま。
受験者が帰る頃に大学行って、窒素入れたの思い出すな。
何もこんな日に学校来なくてもと思いつつ作業してた。

ちなみに某国内半導体装置メーカー勤務だけど、真空度は
ほとんどTorrを使ってるな。もちろん顧客の要求があれば
Paで資料作成するが国内では極僅か。
やっぱねえ、過去のデータの蓄積があるから、突然単位変更だー
つってPaにするとピンと来ないのよ。

179 :名も無きマテリアルさん:02/07/10 01:05
補助引きバルブ
メインバルブ
荒引きバルブ
RPリークバルブ

180 :172:02/07/10 02:45
>>178
>ちなみに某国内半導体装置メーカー勤務だけど、
仕事の方はどんな感じですか?
失礼かもしれませんが、「やっぱり就職はあっちにしとけば良かった」とか
そういうのあります? 当方DPお守り中のMです

181 :名も無きマテリアルさん:02/07/10 22:57
178っす。
>>180
仕事はねえ、エッチャー開発です。
就職で後悔はしていないし転職する気もないが、給料は低いな。
危険なガス使ってんだから危険手当くれってな感じなんだけど。

スレ違いなんでポンプの話など。
TMPは数百〜2000L/min以上のもの、バックアップポンプは
ドライポンプでメカニカルブースター付きのものもある。
半導体製造用だから油使う奴なんかとんでもないなあ。
チャンバの圧力はエッチング工程だから、到達は10E-5Torr位、
プラズマONで数mTorr〜1Torrだな。
だからCuガスケットなんか使わないよ。Cu汚染引き起こすしね。
大学の時は漏れも10E-10Torr台の表面分析装置使ってて、
ベーキングにアルミホイル使いまくりだったけど別世界になっちまった。


182 :名も無きマテリアルさん:02/07/10 23:04
訂正

>>181
2000L/min以上→2000L/s以上

183 :名も無きマテリアルさん:02/07/20 14:20
またーりまたーり
そろそろ引けたかな?

184 :名も無きマテリアルさん:02/07/23 02:30
>>181
>だからCuガスケットなんか使わないよ。Cu汚染引き起こすしね。

ちょっと待って!
Cu汚染って何ですか?
思いっきり使っちゃってるよCuガスケット
あいたたたた


185 :名も無きマテリアルさん:02/07/23 22:19
Cu汚染が問題になるのは分野に依るべさ。

>>184
は「真空」を使って何やってんのさ。

186 :もとSIMS使い:02/07/23 23:31
銅ガスケットよく使っていたよ。
SIMSでもGDMSでもね。
SIMSでも銅のバックグランドはあまり気にしなかったな。
それよかGaにはまいったよ。
みなさん,どこの分析会社使っているのかな?

187 :TTC ◆pC98/G8U :02/08/01 03:10
そんな事より1よ、ちょいと聞いてくれよ。スレとあんま関係ないけどさ。
昨日、蒸着のために真空引きに行ったんです。真空引き。
そしたらなんか油がめちゃくちゃ逆流してて引けないんです。
で、よく見たらなんか張り紙してあって、ポンプ故障中、とか書いてあるんです。
もうね、アホかと。馬鹿かと。
お前らな、卒研如きで普段来てない真空引きに来てんじゃねーよ、ボケが。
卒研だよ、卒研。
なんか親子連れとかもいるし。一家4人で真空引きか。おめでてーな。
よーしパパ10^-7torrまで引いちゃうぞー、とか言ってるの。もう見てらんない。
お前らな、金魚のぶくぶくやるからからそこ空けろと。
真空引きってのはな、もっと殺伐としてるべきなんだよ。
(以下略)

188 :名も無きマテリアルさん:02/08/17 20:21

ロータリーポンプ
オイルの逆流が怖くて
ちゃんと引ききらないまま止めてしまう・・・
どこで止めたらいいんだあああ



189 :名も無きマテリアルさん:02/08/17 20:50
>>187
第2弾きぼーん

190 :unko:02/08/18 20:42
>>188
クヌッセン数を計算して、粘性流領域の圧力下限でやめればいいのでは?
ダメならフォアライントラップつけれ。

191 :TTC ◆pC98/G8U :02/08/23 00:21
>>189
反応があった。ちょっとうれしい。
吉野家コピペジェネレータを使えば、これくらいなら誰でも作れますよ。

192 :  :02/09/08 00:45
Cuガスケットってつかっちゃいけないの?
汚染??まじですか?

ちなみにあれって一回使い捨てだよね

193 :名も無きマテリアルさん:02/09/09 00:40
先週の日曜日に渋谷のハンズに行ったんです。
何階かは忘れましたが、特設コーナがあったんです。
機械部品をただバラしただけ(!)の金属部品が売ってたんですが、
タービンのブレードようなどこかで見かけたことのある部品も売りに出されていました。

材質は、、アルミ合金か。
大分痛んではいるが…。
う〜ん、どこかで見たような…。

そうだ!!

ターボだ!!
ターボ分子ポンプだ(wa!!

周りのカバー(?)が見当たらないが、コレはターボだぞ。
サイズは、、この径だと6inch位か?

よし、裏側見てやれ!!
…モータも付いてるし〜。

排気ポートは?

お、あんなところに…。
そうそう、KFフランジだったよ…。

あれ〜?
こっちのコレってロータリーポンプの部品?
マグネトロンのキャビティみたいな部品も転がってるし…。

と、昔の友に突然出会ったような不思議な感覚を覚えましたとさ。

194 :名も無きマテリアルさん:02/09/09 21:23
>>192
前回よりちょっと強く締める
で、2,3回使ってます。

195 :192:02/09/10 23:35
>>194
一応使えるんだ!やってみます。
産休!

196 :名も無きマテリアルさん:02/09/20 00:14
大気開放すっぞ、お前ら。

197 :名も無きマテリアルさん:02/09/20 02:16
>>195
えー、Cuガスケットは使い捨てでしょう。安いんだし。
そんなもん節約しようとしてチャンバーオープン2度手間になったりしたら、
目も当てられん。
と思うヨ

198 :名も無きマテリアルさん:02/09/21 12:00
慣れてくると同じCuガスケットを数回は使えるようになるよ。
一回目の使用で強く締めるのはガスケットが勿体無い

199 :名も無きマテリアルさん:02/09/28 01:53
>>181です。あ-このスレまだあったんだ。

>>192
エッチャーのチャンバは常にプラズマに曝されます。
シリコン化合物を削る装置なんだから、チャンバを構成する
パーツも当然スパッタリングされて消耗します。つまりCu
ガスケットを使えばそれがスパッタされてウェハに運ばれます。
それは半導体で最も嫌われる物の1つ、重金属汚染を引き起
こします。だから使えません。

>>197
研究費、開発費がふんだんにあればその通り。
ビンボな大学の研究室では買う金すら困る所もあり。
話がちょっとそれるがある化学系研究室では年度末に
薬包紙を買う金にすら困り、ビーカー代を学生から徴収
した所がありました。ちなみに国立。

200 :名も無きマテリアルさん:02/09/28 23:39
>>191
サンクス。コピペジェネレータ楽しめます!

187はText-to-Speech使ってFlash作ったら
さらに良いかも

201 :192:02/10/02 03:59
>>199
オージェの結果を洗ってみます。
後日報告って事で

202 :名も無きマテリアルさん:02/10/02 05:55
http://yahooo.s2.x-beat.com/

203 :名も無きマテリアルさん:02/10/05 09:38
トータルリコール上げ

204 :名も無きマテリアルさん:02/10/08 16:40
TMPの交換作業で、5分以上に渡りTMP(排気量1500L/S)を抱えつづけますた。

筋肉痛で震えの止まらぬ手で電離真空計のスイッチを押したらフィラメント
が切れますた。

そしてQMASSが死亡。




もうだめぽ

205 :名も無きマテリアルさん:02/10/12 20:10
いいなぁ
漏れも1500リッタのターボ欲しい

206 :名も無きマテリアルさん:02/10/13 09:32
Varianの新しいスクロールポンプ買ったんだけど
結構いい感じ。やっぱオイルフリーでしょ。さよならRP。
さよならオイルだらけのコールドトラップ。

http://www.varianinc.com/image/vimage/docs/vacuum/products/shared/sh100/sh100_brochure.pdf


207 :名も無きマテリアルさん:02/10/21 00:18
ガスケットは
シリコンリングオンリーですが何か?


208 :名も無きマテリアルさん:02/11/05 16:59
真空揚げ

209 :名も無きマテリアルさん:02/11/05 20:40
着替え生中継カメラ只今無料!!!
(,,゚Д゚) http://www.cosmani.tv/gallery/gallery_frame.html

210 :名も無きマテリアルさん:02/12/07 02:55
>198
 ベークしたCuガスケットは再利用すると鈍ってるから、
閉めてもとまんないことがあるけど、とまることもある。
理屈はしらんが閉めてるときの手応えで結構わかる

211 :名も無きマテリアルさん:02/12/10 05:16
>>210
締めるトルクを調節できるペンチがあるのでオススメ

212 :MBE:02/12/10 06:07
えきち入れ

213 :名も無きマテリアルさん:02/12/10 12:12
優秀ターボがこないだ壊れてドイツ旅行中。
よって、ロードロックでは2軍ターボが活躍中。
-8乗Torrまで5時間。。。
よって、みんなでいっせいに基板出し入れ。
そろそろソース枯れる時期だし。。。
てことは、また成長室ベーキングだし。。。
あぁ、修論間に合うかな。。。
蒸着機をデシケータ代わりに使ってやるぅ。

214 :名も無きマテリアルさん:02/12/11 00:03
年越しベーキング

215 :名も無きマテリアルさん:02/12/11 00:27
>>212
うちでは「ティムーソ」と呼んでるよ

216 :名も無きマテリアルさん:02/12/15 03:23
クリスマスベーキングです。
ああ、リボンヒーターのイルミネーションが眩しい…





217 :名も無きマテリアルさん:02/12/19 22:12
>>215
そのナイスなネーミングの由来は??


218 :215:02/12/22 18:11
>>217

「ティッソ(ちっそ)」と「ティムーポ」が混ざって
ティムーソになっちゃいました。

219 :217:02/12/23 09:28
>>218

あはは。
なんでその二つが混ざるかは突っ込まないとして
俺もそれ使お。
誰もわからねーだろ−な。。

220 :名も無きマテリアルさん:02/12/24 01:37
>>212
サイフォンしか
ないだろが!!!!!
くだらんことぬかすな
ボケ!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

221 :名も無きマテリアルさん:02/12/25 09:35
調子こいてSiチューブ割れた。

222 :bloom:02/12/25 09:57

http://www.agemasukudasai.com/bloom/

223 :名も無きマテリアルさん:02/12/26 01:06
クリスマスも終わったわけだが。

224 :215:02/12/26 10:34
>>223
クリスマス成長敢行しますたが何か?

225 :山崎渉:03/01/06 15:38
(^^) 

226 :名も無きマテリアルさん:03/01/14 02:39
age

227 :名も無きマテリアルさん:03/01/14 04:32
変な音がしてきたよ。
ちょっと見てきます。

228 :名も無きマテリアルさん:03/01/14 05:34
MXなどで集めた動画をみんなでココにUPしよう!
http://www6.ocn.ne.jp/~endou/ten.html

229 :名も無きマテリアルさん:03/01/14 13:50
>>227
ターボ壊れる前兆?

230 :名も無きマテリアルさん:03/01/14 23:11
今日もきゅーぽんきゅーぽん、あしたもきゅーぽんきゅーぽん
もちろん今夜もきゅーぽんゆーぽん。冬場はつらひ。

231 :名も無きマテリアルさん:03/01/15 14:59
新造チェンバーの立ち上げ中。9乗Paまで落としたいのにまだ8乗。焼きが足らんのかな?
こんどはイオンポンプを焼く。

232 :名も無きマテリアルさん:03/01/24 23:29
このスレタイ最高!研究室の仲間で爆笑!

ちなみに漏れは装置焼き前の「真空待ちの人」。
卒論前なのでこんな時間に。
早く引けないかにゃー。

233 :ぼけなす ◆BOKE..htys :03/01/25 03:44
俺も俺も

234 ::03/01/25 21:35
>>231
-9..9乗Pa? -11mBar!

私等の所では,マルチゲージにエラーが出ますが…
(真空度が-10mBar付近までしか取れない)

何のchamberですか? MBE?

235 ::03/01/25 21:36
-11mBarじゃなくって -11乗mBarですね
-10mBarは-10乗mBar...

ウツダ

236 :名も無きマテリアルさん:03/01/26 00:16
(m・∀・)m<べーきん君!
(m´∀`)m<・・・
-10Torrキタ━━━(・∀・)━━━!!!

と思いきやQ-MASS死亡
(σ´・ω・`)σしょぼぼん

237 :名も無きマテリアルさん:03/01/26 01:53
まぁチャソバーの大きさにも寄るわな
ウチも今焼いてます

238 :名も無きマテリアルさん:03/01/26 17:23
ウチは最強で9条(Torr)まで

239 :名も無きマテリアルさん:03/01/27 05:16
-------------------------------------------
本日23:00時より祭りを開催いたします。
是非、参加下さいます様、お願いします。
携帯PHS
迷惑メールサイト一斉訪問お祭り開催
http://jbbs.shitaraba.com/news/bbs/read.cgi?BBS=853&KEY=1043335260
-------------------------------------------

240 :231:03/01/27 13:18
>>234 ●さん
汎用表面観測用です。製膜ではあまり手の込んだこと
ができないけれど、仕事関数を測ったり〜。

その後Varianのイオンポンプをアルミ箔でグルグル撒い
て焼入れ中。焼き上がりが楽しみだわさ♪

241 :vvv:03/01/27 13:24
http://jsweb.muvc.net/index.html
 ★お気に入りに追加してしまったアドレス★

242 ::03/01/29 17:46
で、Q-MASSの飛んだ方?修理に出しました?

243 ::03/01/30 10:46
大気開放準備
材料温度の降温中…

244 :名も無きマテリアルさん:03/02/10 01:43
材料温度、どのくらいの速さで下げてます?

245 :1:03/02/10 19:21
このスレ、なんかかわいいですね

246 :えと:03/02/10 19:52
えっ!!まじっ!見えとるやん!!!


http://www.hi-net.zaq.ne.jp/bubbs207

247 :名も無きマテリアルさん :03/02/10 23:23
>>244
出来るだけ速く。


248 :名も無きマテリアルさん:03/02/11 01:10
坩堝を割らない程度に,これ重要

249 ::03/02/11 10:47
>>245
真空引きってのは、もっと殺伐としているべきなんだよ(以下略

250 :244:03/02/11 13:10
100℃/15min くらいじゃ早い?>降温

251 ::03/02/11 13:59
>>250
速いかな?Alの様にお行儀の悪い材料は、融点前後100℃で
2℃/minぐらいにしないと、ちと怖い。

っていうか、直ぐに割りやがる(泣

252 :244:03/02/12 04:09
あー、もちろんAlは融点付近は2℃/minで下げてますね

ってかウチのとこは下げるのにストップウォッチ持って、デジタルの
温度調節の表示をボタン押して手動で下げるんですが(Al下げる時とか
は1時間以上そこに貼り付いていなくちゃいけない)、他のトコもこん
なもんなのでしょうか

253 ::03/02/12 11:57
>>252
普通はPID制御を使ってramp値と指定温度を指定してやって、放置プレイかと思われます。

254 :790:03/02/12 17:25
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255 :世直し一揆(コピペ推奨):03/02/12 17:32
<血液型A型の一般的な特徴>(見せかけの優しさ・もっともらしさ(偽善)に騙され
るな!!)
●とにかく気が小さい(神経質、臆病、二言目には「世間」、了見が狭い)
●他人に異常に干渉し、しかも好戦的・ファイト満々(キモイ、自己中心)
●自尊心が異常に強く、自分が馬鹿にされると怒るくせに平気で他人を馬鹿にしようと
する(ただし、相手を表面的・形式的にしか判断できず(早合点・誤解の名人)、実際に
はたいてい、内面的・実質的に負けている)
●本音は、ものすごく幼稚で倫理意識が異常に低い(人にばれさえしなければOK!)
●「常識、常識」と口うるさいが、実はA型の常識はピントがズレまくっている(日本
の常識は世界の非常識)
●権力、強者(警察、暴走族…etc)に弱く、弱者には威張り散らす(強い者にはへつらい、弱い者に対してはいじめる)
●あら探しだけは名人級でウザイ(例え10の長所があってもほめることをせず、たった1つの短所を見つけてはけなす)
●基本的に悲観主義でマイナス思考に支配されているため性格がうっとうしい(根暗)
●単独では何もできない(群れでしか行動できないヘタレ)
●少数派の異質、異文化を排斥する(差別主義者、狭量)
●集団によるいじめのパイオニア&天才(陰湿&陰険)
●悪口、陰口が大好き(A型が3人寄れば他人の悪口、裏表が激しい)
●他人からどう見られているか、人の目を異常に気にする(「〜みたい」とよく言う、
世間体命)
●自分の感情をうまく表現できず、コミュニケーション能力に乏しい(同じことを何度
も言ってキモイ) 
●表面上協調・意気投合しているようでも、腹は各自バラバラで融通が利かず、頑固(本当は個性・アク強い)
●人を信じられず、疑い深い(自分自身裏表が激しいため、他人に対してもそう思う)
●自ら好んでストイックな生活をしストレスを溜めておきながら、他人に猛烈に嫉妬
する(不合理な馬鹿)
●執念深く、粘着でしつこい(「一生恨みます」タイプ)
●自分に甘く他人に厳しい(自分のことは棚に上げてまず他人を責める。しかも冷酷)
●男は、女々しいあるいは女の腐ったみたいな考えのやつが多い(例:「俺のほうが男
前やのに、なんでや!(あの野郎の足を引っ張ってやる!!)」)

256 :名も無きマテリアルさん:03/02/14 17:46
>>252
ウチはPIDコントローラで5℃/min(融点前後100度)に設定して
報知プレイかな
550℃切ったら、10℃/minで完全ほったらかし(笑)

257 :244:03/02/15 02:26
うー、やっぱり皆さんそうですよねぇ。
ウチのもPID制御したいYO

258 :986:03/02/15 12:45
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259 :名も無きマテリアルさん:03/02/17 19:43
| 、 l ,
| ゚∀゚)-
| ' l `
|∧∧
| ゚∀゚)  MBEオプーン
|o旦o
|∧∧
| ゚∀゚)  シテモイイデーカー?
| ow○
 ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄


260 :名も無きマテリアルさん:03/02/17 20:00
>>259
リークバルブ開け
俺にやらせて・・・
あの快感なんともいえない・・・

261 ::03/02/18 00:38
MBEは開放するのは楽なんだけど,その後がね…

262 :名も無きマテリアルさん:03/02/19 23:41
>>252

昔、某半導体メーカーにいた頃、Alのセル(というかルツボ)は使い捨てだった。
無理やり再利用してもろくなモンできなかったし。ありゃ割れるモンです。
ちんたらやるより、早く温度下げてお掃除お掃除。

263 :252:03/02/22 05:09
>>262
ルツボを使い捨て?! すげーカルチャーショックです
うちの研究室でそんなことしたら教授が頭から火を噴きます

264 :名も無きマテリアルさん:03/02/22 06:19
ワラタ
http://homepage3.nifty.com/digikei/ten.html

265 :262:03/02/23 14:44
>>263
年に何百回も本物の高速デバイスのエピすりゃ(デバイスとして様々な
特性を評価すれば)、その差は明白。一旦アルミの温度下げたら二度と
使えません。SEM/TEMで観察してホール測定してるだけなら差は分から
んかも?

ルツボ高いと言っても、1枚のウエハからデバイスのチップがいくつ
取れるか、1つのルツボで何回エピできるか、何枚処理できるか、で、
それが製品でいくらになるか計算してみりゃ、大した金額じゃないよ。


266 ::03/02/23 16:47
>>265
まぁ,大学でしこしこやってる世界の話ではないけどね.

267 :山崎渉:03/03/13 13:05
(^^)

268 :名も無きマテリアルさん :03/03/31 01:35
まだひけねーよ

269 :山崎渉:03/03/31 02:32
(^^)

270 :名も無きマテリアルさん:03/03/31 20:19
うちは PLD やってて、ターボで引いてるが、10-4 Torr
最近まだ引きが悪くなってきた
漏れ探ししてるけど、原因がわからん


271 :名も無きマテリアルさん:03/04/10 17:07
真空蒸着なんて今日び流行らないんだYO
まだひけないし・・・鬱

272 :出会いNO1:03/04/10 17:38
http://kadokado.h.fc2.com/
18歳未満禁止です!
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273 :川崎歩:03/04/11 21:55
こんなポンプありですか?
http://www10.plala.or.jp/the-vsop1985/

274 :名も無きマテリアルさん:03/04/12 03:41
よっしゃ
-7乗入った

275 :山崎渉:03/04/17 08:56
(^^)

276 :名も無きマテリアルさん:03/05/19 03:06
真空ということで,こんな話題が。
ttp://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20030516-00000002-cnc-l20
ttp://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20030516-00000005-nkn-ind
これがあれば,いちいちチャンバー開けなくてもサンプルの交換とか出来るんだろうか。
潤滑とかどうやってるんだろう。

277 :((≡゜♀゜≡)):03/05/19 03:09
かなりのヒット
http://homepage3.nifty.com/coco-nut/

278 :名も無きマテリアルさん:03/05/19 03:22
>>274
すげえな、お前のとこのポンプ

279 :名も無きマテリアルさん:03/05/19 04:44
ただ今真空漏れでメンテナンス中。
悲惨です・・。

280 :_:03/05/19 07:58
  ∧_∧    http://togoshi.ginza.st/mona/
 ( ・∀・)/< コんなの有ったっち♪
http://togoshi.ginza.st/mona/mona02.html
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http://www.togoshi.ginza.st/mona/mona09.html

281 :紺野あさみ:03/05/19 08:02
  ∋8ノノハ.∩   http//togoshi.ginza.st/yusei/
   川o・-・)ノ <先生!下記のページがありました!
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei01.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei09.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei05.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei08.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei06.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei10.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei04.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei03.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei02.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei07.html

282 :_:03/05/19 11:01
  ∧_∧    http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/
 ( ・∀・)/< こんなモノ見つけたっち♪
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch01.html
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http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch06.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch10.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch04.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch03.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch02.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch07.html

283 :名も無きマテリアルさん :03/05/20 02:09
だめだ
ポンプがしにかかってる

284 :名も無きマテリアルさん:03/05/20 08:20
で、どうなった?

285 :あぼーん:あぼーん
あぼーん

286 :山崎渉:03/05/21 21:44
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

287 :山崎渉:03/05/21 23:49
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

288 :名も無きマテリアルさん:03/05/21 23:52
>>284
なんとかもちこたえている
煙をあげたりするけど

289 :名も無きマテリアルさん:03/05/22 01:56
>>288
煙が上がる状態は持ちこたえたとは言わない。
うまくいくといいですね。

290 :_:03/05/22 02:14
  ∧_∧
 ( ・∀・)/< こんなの有ったっち♪
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku07.html
http://muryou.gasuki.com/zenkaku/index.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku08.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku10.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku01.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku03.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku02.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku09.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku06.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku04.html
http://muryou.gasuki.com/zenkaku/index.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku05.html

291 :名も無きマテリアルさん:03/05/22 23:10
>>289
ありがとう。
けれどもとうとう逝ってしまいました


292 :_:03/05/23 00:04
http://homepage.mac.com/hiroyuki43/

293 :名も無きマテリアルさん:03/05/25 18:32


294 :289:03/05/27 03:48
>>291
ひーん,うちのRPのモータも焼けた(>_<)

295 :bloom:03/05/27 04:23
http://homepage.mac.com/ayaya16/

296 :_:03/05/27 05:00
http://homepage.mac.com/hiroyuki43/moe/jaz02.html

297 ::03/05/27 06:05
これはもしかしてモロっすか?
なんでもあり?

http://www.hi-net.zaq.ne.jp/bubbs207/

298 :名も無きマテリアルさん:03/05/28 00:59
ぐは。
RPのベルトが切れかけてた…。

みんなも確認汁。
消耗品だぞ。

299 :名無し募集中。。。:03/05/28 01:29
>>298
てかこんな時間に実験でつか?

300 :山崎渉:03/05/28 14:30
     ∧_∧
ピュ.ー (  ^^ ) <これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄〕
  = ◎――◎                      山崎渉

301 :名も無きマテリアルさん:03/05/31 02:53
Baking中age

302 :名も無きマテリアルさん:03/05/31 16:03
http://elife.fam.cx/




303 :名も無きマテリアルさん:03/05/31 16:11
オススメ★★★★★五つ星
http://yahooo.s2.x-beat.com/linkvp/linkvp.html

304 :名も無きマテリアルさん:03/05/31 16:20
企業の中のヒトも大変だなw

てか、宣伝ウザ過ぎ。

305 :名無し募集中。。。:03/06/01 01:00
漏れはNGワード対策しまくってるから気付かんけど
妙にレス番が飛んでいる・・・

306 :名も無き学生さん:03/06/12 18:25
今日は午前中真空待ちしたのでage

午後はTEMのビームがどっか逝っちゃって・・・もうだめぽ

307 :名も無きマテリアルさん:03/06/13 01:53
age

308 :名も無きマテリアルさん:03/06/20 15:55
ロータリーのオイル逆流させて真空装置の中に入れてしまいました。
大ボスにに2時間説教されました。
今、掃除して焼きまくってるところです。

309 ::03/06/21 23:37
よかったじゃん


むかしな、ブースターのロータリーの油を逆流させMBEを逝かせた奴
がいてな…(以下略

310 :山崎 渉:03/07/15 12:48

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

311 :名も無きマテリアルさん:03/07/27 05:19
Baking中 保守カキコ

312 :山崎 渉:03/08/15 18:51
    (⌒V⌒)
   │ ^ ^ │<これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  ⊂|    |つ
   (_)(_)                      山崎パン

313 :名も無きマテリアルさん:03/08/18 05:08
TMP待ちage

314 :名も無きマテリアルさん:03/08/18 05:22
>>313
こんな時間に!

315 :名も無きマテリアルさん:03/08/18 05:50
http://satellite.esenden.com/ranking/ranklink.cgi?id=groovy

316 :名も無きマテリアルさん:03/08/21 15:49
´*:;,. ★ 〜☆・:.,;* http://www.gals-cafe.tv ´*:;,. ★ 〜☆・:.,;*

夏なのにカノジョがいなくてこまってるそこのアナタ!

同じくカレシのいないなつきちゃんに会いにこないっ?

一週間の間、10分間はカクジツにさんごはあなたのもの♪
え?それ以上?それはぁ・・・えへっ(≧▽≦)~~*
アナタがなつきにもっと会いたくなってくれたら、かな☆
ここで待ってるから、必ず来てね!来てくれないなら…おしかけちゃうぞ♪
´*:;,. ★ 〜☆・:.,;* http://www.gals-cafe.tv ´*:;,. ★ 〜☆・:.,;*


317 :燃える名無し画像:03/09/06 07:13
宇宙空間の真空度はどのくらいですか?

318 ::03/09/06 09:33
MBEの中と同じぐらい

319 :真空のエネルギー:03/09/08 04:40
金属板と直径50ミクロンの金属球を真空チャンバー内にセットする
(球と下の金属板は,近めに設定されている.球の上部には広い空間が設けられている).
球に及ぼすあらゆる力(引力,電気的な力など,現在知られている力)をすべて差し引く.
従ってこの状態では球はまったく動かないはず.
ところが実際には球が金属板がある方向に動く.
金属板のある空間よりも反対側の空間の方が広いため
そこに発生した何らかの力で押されるため球が下方に動いたのである.


320 :名も無きマテリアルさん:03/09/08 06:44
http://user.auctions.yahoo.co.jp/jp/show/auctions?userID=tamagomaru1&u=tamagomaru1

321 :名も無きマテリアルさん:03/09/18 18:59
今米キング中だす。

322 :名も無きマテリアルさん:03/09/25 01:54
ベケナッ!!YO!
50℃から70℃!

チェキラッ!!真空計!!AH!

注)ベケナッ=ベーキング アップ

323 :装置屋:03/09/25 03:42
STM買ってYO

324 :名も無きマテリアルさん:03/10/01 15:35
RPオイルだだ漏れホシュ

325 :名も無きマテリアルさん:03/10/02 23:47
MBEの中は何Torr?

326 :名も無きマテリアルさん:03/10/03 19:19
蒸着前で10^-10Torr台、蒸着中でも10^-9Torrくらいだね。
基板入ってないときはイオンポンプ止めてるから10^-8Torr台のことも多いがね

327 ::03/10/04 12:08
というか, MBEにもいろいろありますが ?

Gas source MBEだと成長中10^ -3 [Pa]ぐらいです.

正直 ``蒸着''というのは如何な物かと思いますが, conventional MBEの真空度は
>>323さんの仰る通りです.

328 :名も無きマテリアルさん:03/10/11 18:32
10^-11Torrゲット。MBEベーキング直後

329 :名も無きマテリアルさん:03/10/11 20:36
>>327
STM欲しいの?

330 :名も無きマテリアルさん:03/10/15 01:11
おまいらよ、電離真空計のフィラメントがやせ細っていないか確認汁。

真空度良すぎだw。

331 :名も無きマテリアルさん:03/10/15 02:47
100リットル入る液体窒素ボンベ、すぐに出口が詰まってしまう……
拡散ポンプの液体窒素補給はダルいっす

332 :名も無きマテリアルさん:03/10/16 02:44
>>331
その液チの容器,問題あるんじゃない?

333 :名も無きマテリアルさん:03/10/17 12:22
>>332
問題あるというか、10年以上も前のものなので寿命かと思われます。
でも、新しいの買ってもらえるお金なんて無いので、使い続けざるを得ない、
これでも宮廷大の研究所なのですが、日本の科学は大丈夫かいな

334 :名も無きマテリアルさん:03/10/21 23:48
きちんとベーキングしたらTMPとCPで1.6×10の-9乗torrまで行きました。
今まで-8乗代までしか行かなかったのでうれしいです。
明日は初めての成長実験なのでがんばります。

335 :名も無きマテリアルさん:03/10/22 22:00
>>334
CPて何ですか?

336 ::03/10/22 23:04
chemical pumping?

337 :334:03/10/22 23:15
CPとはcryo pumpのことです。ヘリウムを液化して
気体を吸着するポンプです。

338 ::03/10/22 23:44
あの、お聞きしていいですか?
Bake outで比較的高温にして引かす時にもTMPつかうんですか?
そんな高温にTMPって耐えられましたっけ ion pumpを併用したのでは
ないのでしょうか

339 :334:03/10/26 10:25
TMPだけで140℃でベーキングしました。
その後何の問題も無いので大丈夫だと思います。

340 :名も無きマテリアルさん:03/10/26 10:28
ベーキングして1.6×10の-9乗torrまで行ったんですけど、
実験したら10の-8乗torrまでしか行かなくなってしまいました。
次のベーキングはいつごろしたらいいですかね?
初心者なのですいません。

341 ::03/10/26 10:32
いや、例えば、バルブにナイフエッジ等使う場合
ナイフエッジが酸化してしまうケースもあるらしいです。

TMPのスペック表もご確認になられた方が良いと思います。
TMPって排気量にもよりますが、結構な額がしますので。

342 :名も無きマテリアルさん:03/11/12 21:21
そういやポンプの排気量(g/min)とかって
どの気圧での体積を基準にしてるんですかね?

343 :名も無きマテリアルさん:03/11/13 20:44
窒素。

344 :名も無きマテリアルさん:03/11/13 21:41
DP120分ってどうYO!?

345 :名も無きマテリアルさん:03/11/15 21:05
>>344
速いねw
うちなんか4時間くらい待つのが常態化してしまったよ.無駄すぎ.
LN2足すのウザイし.

346 :名も無きマテリアルさん:03/11/17 21:48
なんていうか・・・突然壊れました。
オイル交換〜だりー

347 :331:03/11/24 04:20
>>344
DP120分って何が120分?

うちのDPは12時間に一回LN2入れねばならん、毎週窒素当番決めて休日は無しです

348 :名も無きマテリアルさん:03/11/24 14:15
>>347
12時間おきでいいならうらやましい。
うちのは4時間おきですぞ。常時稼働でないからまだいいけどさぁ。

349 :名も無きマテリアルさん:03/11/24 17:13
>>347
何で常時稼動でDP使うの?ってのは禁句ですか?

350 :331:03/11/24 17:46
>>349
成膜チャンバに付いていた良いTMPが壊れてて、普段の真空維持もDPだけ
なのです。だからDPが常時稼働

金無いから新しいTMP買えない。(正確には、買ってくれない、か)
窒素当番な休日出勤の学生にも人件費は払わなくていいから、大学だから
こそ出来る技やね。せめて祝休日の当番には弁当代と交通費くらい出して
欲しいよ

っつーか、手動LN2補充式の液体窒素トラップDPを常時稼働させている所
なんて、やっぱりウチくらいなのでしょうかね? ('A`)マンドクセ

351 :名も無きマテリアルさん:03/11/24 21:17
>>350
休みをベーキングの日にして、DPだけで引き続けて、
実験前にLN2を入れれば、真空度はかなりよくなる、と思うが。


352 :名も無きマテリアルさん:03/11/24 21:35
>>351
DPはLN2を入れないと油がチャンバーに行き続けるような気がするんだけど,
ベーキングしてれば問題ないのか?

353 :名も無きマテリアルさん:03/11/24 22:12
どんなDPかにもよるけど、普通は稼動中はいかない。

354 :331:03/11/25 02:59
>>352の言う通り、油がチャンバーに行くのが恐いからDPには常にLN2
入れてますYO
あと、以前に水が凍ってコールドリークを起こしたことがあるから、LN2
補充する管の回りの氷が溶けて水浸しになるのが恐い。だからLN2入れ続
けてる。
……んだと思う。

実験前にだけLN2を入れると聞いて、かなりカルチャーショックを受けまし
た、私。そーゆーもんなのか……

355 :名も無きマテリアルさん:03/11/27 03:15
DPって何のために窒素入れるの?

356 :名も無きマテリアルさん:03/11/27 22:09
オイルののミストをトラップすんだっけ。

357 :名も無きマテリアルさん:03/11/29 01:10
そう。逆流するオイルをとっつかまえる。

358 :名も無きマテリアルさん:03/11/29 14:06
コールドトラップをかけるのは真空度による。
10^-6torr程度までならいらないでしょ。

359 :名も無きマテリアルさん:03/11/30 05:33
LN2を使うかどうかは、膜やチャンバがカーボンを嫌うかどうかにもよるでしょうね。

時に装置を分解修理するんですが、メインバルブなんかはかなりDPオイルがついてました。
気になったので、バルブのかわりにビューポートをつけてDPを稼動していると、
しばらくすると、油で曇っていく様子がみえました...。まあ、うちのは8万くらいの安DPだからなぁ。
それで、さらに調べてみると、オイルの種類とヒータ電圧の調整でかなりましになることも
わかりました。

とか、なんとか、いいつつも、LN2いれてないです。
LN2自動供給装置もあるらしいですが。

ただ、さすがにDP&冷却水つけっ放しはしてません。
水切れでボヤ一回(断水リレーが死んでた)、
冷却パイプの水漏れ(銅製なので水道水で腐食する)もあって、朝行ったら、教授が一人で
バケツ・雑巾で始末してたので真っ青になったよ。(今はチラーにしてる)



360 :名も無きマテリアルさん:03/11/30 05:52
あと、はずしているかもしれませんが、

LN2 の容器は時期がきたら真空が悪くなって持ちが悪くなるので、
真空引きしてもらって、復活させてもらってます。

ただ、私がふだん使っているのは20--40Lのやつなので、
10Lの小さいやつとか、(通称 たまねぎ  っていってました)
100Lのあちこちバルブ付のやつ(通称 ロボコン)
では、どうするのか知りませんけど。

ただ、新入生のころ、無知だったんで、容器の口に密封のためにビニ手をかぶせてから
フタをしてたのですが、半日ほどするとフタが氷結してて、「ピーー」とか音がするので、
あわててフタを力任せに抜きとったところ、口から どばーっ とLN2がふきだして、
天井にぶちあたったLN2がわさわさ降りそそいできたので、逝くかと思った。(馬鹿だ)

長文スマソ


361 :名も無きマテリアルさん:03/11/30 06:51
>>360
液体ヘリウムのトランスファーチューブも,たまに2重管の真空を引き直しますね。ロータリーで十分ですが。
でも容器(液体ヘリウムも液体窒素も)の真空引き直しは,うちではやる話は聞かないです。
ボスの話によると,ヘリウム容器に関してですが,まず持ちが気になるほど真空が悪くなるようなことはないそうです。
真空が悪くなった時は容器の寿命が来た時だ,だそうで。確かにヘリウム容器は特殊な断熱材も入ってますしね。
窒素容器に関しては,持ちを気にするほど長い時間放置することがない所為かな・・・

>液チわさわさ
液チが怖くて低温実験やってられるか,なんてな。
もう液チ遊びは通過儀礼,慣れると日常の一部ですな,液チのある生活は。

362 :名も無きマテリアルさん:03/11/30 14:38
液チ取りのとき、勢いありすぎて、ビル2Fまで噴き出した。


363 :名も無きマテリアルさん:04/01/02 02:35
年越しベーキング敢行中。

364 :名も無きマテリアルさん:04/01/28 03:20
まだあったかこのスレ
>>363は無事焼けたのだろうか、と考えつつbake。

365 :名も無きマテリアルさん:04/03/10 22:19
>>363のベーキングは、もうそろそろいい頃だろうw。

366 :名も無きマテリアルさん:04/03/26 16:30
燃え尽きるまでベーキング。。。




漏れの方が先に燃え尽きそうだよママン

367 :名も無きマテリアルさん:04/04/01 01:10
TMPの音をなんとかしてくれYO!

368 :名も無きマテリアルさん:04/04/01 22:41
>>367
クライオの音よりまし。

369 :名も無きマテリアルさん:04/04/06 03:52
>>367
え?あのヴイイイイイィィィって音がいいんだろ?>>all
というわけでBake age

370 :名も無きマテリアルさん:04/04/06 08:04
>>369
シビれるよね

371 :名も無きマテリアルさん:04/04/06 09:20
>>369
同意
というか,加速時の音が最強.

372 :名も無きマテリアルさん:04/04/06 22:32
キュイイィィィィィィィィィィイイイイィィィィイイイイイインンンンンン

10^-5Torr
まだだ・・・まだまだ・・・

373 :名も無きマテリアルさん:04/04/08 00:29
引けた?

374 :名も無きマテリアルさん:04/04/08 21:35
大抵ここで真空待っている人はほとんどMBEか?

375 :名も無きマテリアルさん:04/04/09 14:13
凍結乾燥機

376 :名も無きマテリアルさん:04/04/09 23:23
久々に真空待ちなのでカキコ
待ってる間に2ちゃんしながら世界の車窓からを見てまつ

377 :名も無きマテリアルさん:04/04/10 07:59
>>374
CLでつ

378 :名も無きマテリアルさん:04/04/12 23:24
蒸着だってあるのよ。ガイスラーチェックON

379 :名も無きマテリアルさん:04/04/13 22:00
股間をかくせ。

380 :名も無きマテリアルさん:04/04/13 23:08
ここの奴等はみんな研究室で真空蒸着してんのか?
量産している人はおらんのか?

381 :名も無きマテリアルさん:04/04/14 03:13
>>380
STMでつ。

入ったB4が大気リークさせました…。
俺の-9乗Torr返せよ、
面出しした金属サンプルかえせよ… ウワーン

382 :名も無きマテリアルさん:04/04/14 08:48
悲惨な奴め(w

毎年新しく入ってきたB4にリークされてオイルを酸化されてしまう…
最初に厳しく注意はしてるんだけどなあ。

383 :名も無きマテリアルさん:04/04/20 22:55
>>381
> 俺の-9乗Torr返せよ、
> 面出しした金属サンプルかえせよ… ウワーン

うわぁ、9乗よりこっちの方が衝撃でかいな。

384 :名も無きマテリアルさん:04/04/22 02:43
うーん、悲惨な人多いねぇ
チャンバー内にモノ落っことした俺も人のこと言えないけど
TMPの上の金網の上にサンプルばらまいちゃった テヘッ



385 :名も無きマテリアルさん:04/04/22 21:37
TMPの羽根ふっとびませんでした?

漏れだったらそんなことした後輩は逆さ磔にしてやるところだ(w


386 :名も無きマテリアルさん:04/04/23 01:43
>>383
そうなんですよ。
一ヶ月かけて条件見つけてじっくりと
みがいたmyサンプルが…

ぐおぉぉらあqwせdfrtgひゅjきラッシャー!

387 :名も無きマテリアルさん:04/04/25 01:59
>>385
逆さ磔でも済まされないだろうw

10年ほど前ですが、10inchのTMPは一台で
数百万円するんだぞ、と研究室の先輩に毎日
のように言われたことを思い出しました。

388 :名も無きマテリアルさん:04/04/26 20:08
>>385,387
いや、それがTMP自体は奇跡的に助かりまして。

日頃の行いが良かったからでしょうか、
チャンバーの分解掃除だけで済みましたです、ハイ。


389 :名も無きマテリアルさん:04/04/26 21:19
最近のTMPは強いね。
ノーマル回転から一気に大気が入っても羽が飛ばない。
悲鳴のような音はするけど。

390 :名も無きマテリアルさん:04/04/27 15:27
>>389
マジっすか? 
もしかして、運転しながら大気突入を実際にやったことあるの?
こえぇぇぇぇ((((;゜д゜)))

391 :名も無きマテリアルさん:04/04/27 22:05
ついこの前、3年生の実験でリークさせちまった・・・。
実験データが上手くとれなかったから、ちょっと忘れ物とかいって勝手に使ったらこのざま。

鬱って言うか何て言うか、もうね・・・。

392 :名も無きマテリアルさん:04/04/27 22:37
 昔、バルブのマニュアル操作を誤って、48000rpmのMAX回転TMPを瞬間大気
突入やってもうたことがある。
 なんか魂吸い取られるような音と、やや香ばしい臭いがしたなぁ〜。
 幸い再起動するも何事もなかったように正常に立ち上がった。
 しかし数ヶ月後、定常回転まで達っしなくなり壊れてもうてポンプ一式交換。

 客の装置のメンテ中の出来事。

 ええ、大気突入のことは一切話しておりませぬwww
 もち有償でつwww

393 :名も無きマテリアルさん:04/04/28 19:33
>>魂吸い取られるような音
MAX回転から-2乗Torrくらいに突っ込んじゃったことがあるけど、それでもかなり
すごい音がしたですなぁ
大気突入したらどんな音するんだろう

394 :名も無きマテリアルさん:04/04/29 01:55
>>393
想像したくもありません…。

あー、コワコワ。

395 :名も無きマテリアルさん:04/04/29 10:58
みなさん無茶やってるなあ
>魂吸い取られるような音
って想像つかないけど、加速時の「キイイイイイイィィィィィィィンンン」って音の延長線上?
それとも、全然違う音色?

396 :名も無きマテリアルさん:04/04/29 12:35
それと,エイリアシングのかかった「キーン キーン キーン…」とうい
音が聞こえてきた時、頭の中に明かりがみえてくる…

397 :名も無きマテリアルさん:04/05/04 15:22
V-MAX

398 :名も無きマテリアルさん:04/05/04 15:35
レイズナー

399 :名も無きマテリアルさん:04/05/20 17:34
あーわかるわかる。

キー…ン キー…ン
(なんか今日はターボの音がうるさいな…)

キーーン キーーン キーーン キーーン

ギ ガガ ガシャ バリバリバババ  ガッ ガシャッ!!

ぷしゅー…んん…ん  ん… (静寂)

400 :名も無きマテリアルさん:04/05/21 02:22
禿ワラwwww


401 :名も無きマテリアルさん:04/05/23 05:01
>>399
南無

402 :名も無きマテリアルさん:04/05/24 23:30
TMPのクラッシュはすげーよ。まじジェット機並の爆音。
軸ズレからケーシング擦り始めて羽ちぎれてあとは中身はミンチ。
音もすごいが中身もビックリ。焼けた感じの匂いが残ってて・・・
ばら肉想像してもらえば桶。


403 :名も無きマテリアルさん:04/05/25 01:20
>>402
クラッシュって何が原因?
そんな爆音聞いてみたいなぁ
あ、漏れの愛用MOCVDのTMPではやらないでね♥

404 :名も無きマテリアルさん:04/05/25 09:37
実際問題として、大気突入は安全装置働くから
余程急じゃない限りはクラッシュしないと思うん
ですが、異物を落としたら即あぼーんではない
でしょうか。

405 :名も無きマテリアルさん:04/05/25 21:39
停電のとき激しく逝きますた…自衛隊機が突っこんだときのやつ。
だれも保障してくれなかったよママン。

406 :名も無きマテリアルさん:04/05/26 13:34
>>403
メーカ解析では軸ズレらしい。ケーシング擦ると音がでかくなる。
そこまでいくとTMPとしては、修理するよか買う方がいい。
でも異物混入(TMP部品自体の破損もありえる)はクラッシュする
可能性が高い。おれはこっちだと思ってる。

>>405磁気浮上で助からなかったの?オイラ使ってるのは停電でも
平気だけど。

407 :名も無きマテリアルさん:04/05/28 00:12
>>405
・゚・(つД`)・゚・ TMPお大事に

408 :名も無きマテリアルさん:04/06/01 12:22
うちの研究室はポンプが常時なっててうるさいよ。
もう慣れたけど。

同じような境遇の人います?


409 :名も無きマテリアルさん:04/06/02 00:36
>>408
ノシ

超高真空扱ってるんだけど、
その圧力レベルの研究ならポンプは常に稼動中なんじゃん??


410 :名も無きマテリアルさん:04/06/02 02:08
>>408
ロードロック型ならメインチャンバーは引きっぱなしにするだろ。
この刷れの住人は、ポンプが普通に鳴っていなかったら、orz

411 :名も無きマテリアルさん:04/06/02 09:33
ただ今MBEの冷却まち〜
これがうまいこといけば応物

412 :名も無きマテリアルさん:04/06/02 22:37
>>410
問題は真空装置のある部屋が日ごろいる部屋かということじゃないのか?
普通に過ごす部屋までいつもうるさかったらかなわん.


413 :名も無きマテリアルさん:04/06/03 00:08
>>412
実験室と居住部屋が同じってことか。
それはいやだな。

414 :名も無きマテリアルさん:04/06/04 01:46
>>411
応物は発表日までになんとかいきゃいいのよ

415 :名も無きマテリアルさん:04/06/16 04:02
真空待ちage

416 :名も無きマテリアルさん:04/06/19 02:31
大気リーク

417 :名も無きマテリアルさん:04/07/18 02:58
>>416

なるべく窒素で・・・

418 :名も無きマテリアルさん:04/07/18 03:28
研究室移ったんだがTMPが静かでビックリ

419 :名も無きマテリアルさん:04/07/18 22:23
ロータリーポンプのオイルの匂い最悪

420 :名も無きマテリアルさん:04/07/20 02:15
>>419
あれは絶対身体に悪いにおいだよな・・・
最近排気ラインを作って換気扇に吸い込ませてみた。
快適♪

421 :名も無きマテリアルさん:04/07/20 08:30
>>419,420
俺はロータリー引き始めのあの音と匂いが心地よかったりする訳だが。

ヘンかな?

422 :名も無きマテリアルさん:04/07/20 09:44
>>421
大丈夫だ、俺もそうだw

423 :名も無きマテリアルさん:04/07/21 17:23
つかRPのミストはコンタミになるだろう…

424 :名も無きマテリアルさん:04/07/21 20:37
大学の友人のお話。
RPオイルを正規の給油口ではなく、真空引くポートから追加。
んでもって、ポートを塞がずに試運転しやがった。

スイッチ入れた途端にオイルがポートから噴出し、ポンプの周囲
1mと天井がオイルまみれに。
近くにいたご本人も全身オイルまみれになりますた…。

425 :名も無きマテリアルさん:04/07/22 01:58
すげーーー。当事者哀れw
友人が干されない事を祈る…

426 :名も無きマテリアルさん:04/07/22 02:58
うちの研究室で、ロータリポンプのオイルにサラダ油をいれた馬鹿がいたが、
なんとビックリ問題なく真空上がりますた。。。

427 :424:04/07/22 09:31
自分のカキコ(>>424)がなぜかNGワード指定で読めない…w

もう5年以上も前の話です。
友人は立派な会社員になりましたw

428 :名も無きマテリアルさん:04/10/03 01:18:34
落ちる気配はまるでないのだが、一応保守。。。

429 :名も無きマテリアルさん:04/11/04 20:24:35
ぐぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉ
SEMの真空引き待ち・・・

現在13時間目・・・

もう暇つぶしも無くなった・・・

寝るか・・・

430 :名も無きマテリアルさん:04/11/05 01:15:53
>>424
オイル噴上げショー、うちの教授もやってた。w

431 :名も無きマテリアルさん:04/11/05 02:00:35
SEMでなんでそんなに待つんだ?

432 :名も無きマテリアルさん:04/11/05 10:15:19
>>429
リークしてませんか?

433 :429:04/11/05 16:07:59
もう機械が古いから・・・
80年代前半もの・・・

一回真空落ちると、真空上がるまでかなり掛かる



434 :名も無きマテリアルさん:04/11/06 01:02:48
RPのオイルを取っ替えてやって下さい。
DPかTMPか知らんが、DPならそっちのオイルもじゃね。

RPのベルトも交換した方がイイかも。

435 :名も無きマテリアルさん:04/11/06 18:15:39
>>434
thx 

てっきりメンテ入ってるから、問題ないかと思ったら・・・
RPのオイルがぁぁぁぁぁ
交換したらあっという間に・・・


メンテスタッフはいったい何をやっているんだか・・・



436 :名も無きマテリアルさん:04/11/07 01:32:55
メンテ終わって久しぶりにベーク。
只今終わって冷え待ち。真空待ちage

437 :名も無きマテリアルさん:04/11/07 03:55:23
思った通りw

まぁガンガッテクダシャイ

438 :名も無きマテリアルさん:04/11/09 18:07:19
SEMが直って良い感じ〜
欲しい倍率で撮れる!

が・・・
肝心なXRDの制御側であるUNIXが、丸ごと御亡くなりに・・・
学会に間に合わない・・・_| ̄|○ orz...

439 :名も無きマテリアルさん:04/11/09 21:18:47
このスレまだ 生きてるのか、、、さすが(ry


440 :名も無きマテリアルさん:04/11/16 14:26:25
うちのチャンバー、いつも丸五日くらいベークしてんだけど、これやっぱまずいよね?

RP2台+TMP仕様でー7乗Paくらいまでもってくんだけど

441 :名も無きマテリアルさん:04/11/16 18:38:05
いくらなんでも5日は長すぎ。

442 :名も無きマテリアルさん:04/11/17 12:10:04
2日で十分かと。

443 :名も無きマテリアルさん:04/11/17 16:20:56
ウチの装置は半日で-7乗まで下がったけどねぇ。

横に2mくらいで、直径は15cmくらい。
真ん中と後端にそれぞれ10inchのTMP(+RP)をぶら下げてた。
O-リング仕様だからベーク出来なかったけど。
前端はt15mmくらいの板を丸くくりぬいたモノを10枚くらい重ねて組付け。
間にO-リング挟み込むのが面倒だった…。

444 :名も無きマテリアルさん:04/11/17 17:39:24
>>440
エタノールを注射器に入れて継ぎ目にチューチューかけれ。
リーク探ししる。

Q-Massとかあったらさらにヨシ。

445 :440:04/11/18 12:24:04
THX
ちなみに装置はスパッタで、反応スパッタするために気体導入用の管がごちゃごちゃついてて、これがリークの原因と思われ
セルフ後付で増やしまくったせいで配管に継ぎ手だらけでリークはある程度しかたないかな、とorz
とりあえずやるべきことはベーク前の引きを長くしてベーク時間を極力抑えるのが装置のためか
ちなみに120度でベークです

446 :名も無きマテリアルさん:04/11/18 17:10:09
配管細いとコンダクタンスも小さいっすからねぇ。
リークなくても時間掛かる…。

447 :名も無きマテリアルさん:04/11/18 17:30:37
導入する管もちゃんと暖めてる?一部でも冷えてると、ほかのとこから
脱ガスしたのがそこに着いちゃうから、結局そこの放出率減少が律速に
なっちゃうよ。5 日かかるってのはその辺のような気がするけど…

448 :名も無きマテリアルさん:04/11/19 12:25:34
>>445
リークのせいならベークを長くしてもしゃぁないかと。
>>444が言うようにmassが付いてるなら一度水ピーク
の経時変化を見てみては?

449 :440:04/11/19 14:30:59
一応Q−MASSついてるんで、次回のリーク時にやってみます
続報は来月以降で

450 :名も無きマテリアルさん:04/11/22 15:01:15
続報を楽しみにしてますw

451 :名も無きマテリアルさん:04/11/26 13:01:51
うちのMがシュラウドにLN2なみなみと入ったままで
MBEチャンバーリークさせました。
容器の内側が霜まみれに。。。ウワーン

452 :名も無きマテリアルさん:04/11/29 21:43:09
あぁ、そうか。
よく考えりゃここって教官の人たちも見てるんだよな…

453 :名も無きマテリアルさん:04/12/04 13:55:11
age

454 :440:04/12/04 23:14:41
ベーキングやりました
リークは無かった模様
Q-massは諸事情によりスルー
ちなみに過去に試したときはC-H系がでてきたそうです・・・(汗
引きながらバルブをあっちこっち開けたり閉めたりしたところ、やっぱり気体導入管が真空度を下げている模様
このあたりはベーキングしたいんだけど、ちょっと熱かけたくないんでむぅり、と
引き方を工夫する方向で考えていきます


455 :名も無きマテリアルさん:04/12/05 02:58:52
GVBDSHUC

456 :名も無きマテリアルさん:04/12/05 13:12:41
>>454
律儀にどうも。
気体導入管が真空度を下げているぽいってのは
「ベーク後にバルブを閉めたら圧力が下がった」
ということであってる?
あと参考としてその導入管のバルブの開閉前後
で圧力はどれぐらい変化した?

457 :440:04/12/05 21:14:04
>>456
ちょとちがう
今回は導入管閉めてリーク>導入管閉めたままベーク>ベーク後導入管開ける
ってやってみました

で、いつも狙ってる真空度に到達するまでの時間は少し短縮しました
ちなみに-5Pa台
で、バルブを開けていくと、当然ひとつあけるごとに真空度下がるので、一度ずつ下がるの待って開けていきました
したら、あるバルブ開けたら突然真空度がすごい勢いで下がったんで、そこがやばげな感じ
たぶんいきなり全開したら、最悪-2Pa台までさがるんじゃないかな?やらんかったけど
ちなみにそこは、気体導入の際の気体混合ユニットがあるとこっす

458 :名も無きマテリアルさん:04/12/06 00:13:06
ユニットの後ろ側は純ガスとしても、ユニットのチャンバ側配管(要は気体導入管)に貯まったガス
はポンプで引き切ってやる必要はないの?

チャンバと導入管のバルブの位置関係を見てみたい希ガス。

459 :440:04/12/06 10:24:53
ご指摘のとおり、本当はバルブ全開放で全ベークしてやりたいんだけど、構造上の問題というかなんというか、先のほうはベークできません
で、当然他がベークされてるときその辺の温度低いんで、いっそベーク中はガス管閉めとこうかな、と
ちなみに今回はベーク後丸二日くらい使わずに引いてます
っていうか、まだ真空待ちDEATH

460 :456:04/12/06 12:25:44
>>457
>>458と同じくやばげな気体導入管の様子を知りたいかも。
今回バルブを開けた際に出てきたのは「リーク前の実験時
の残留ガス」?或いは「大気」?

461 :440:04/12/06 20:51:23
大気というほどには中の圧は高くなかった
ただ、バルブの漏れからくる多少の気体の進入は否定できません
ただし、どちらかというと向こう側の気体ボンベからの侵入のほうがありそうなので、そっちを疑ってます
・・・Q-massやればよかった・・・

462 :456:04/12/07 00:12:00
>>461
実は俺のチェンバーにもガス導入口があるんだけど、
常に単一ガスが充填されてる状態になってる。バルブ
さえ閉じていればリークと排気を繰り返しても問題なし。

そちらはガス混合用の機材がついてるみたいだから
大変そうだけど、ガンがって下さい。


463 :名も無きマテリアルさん:04/12/11 08:21:58
チャンバー?チェンバー?どっちが正しいの?

464 :名も無きマテリアルさん:04/12/11 21:31:09
>>463
ttp://eiwa.excite.co.jp/sounds/NEW_EJJE/000957570730.wav
”チェインバー”に聞こえる。
日本語では、チャンバー派が多いような。
でも、MBEの人はチェンバーって言っているイメージがある。

465 :名も無きマテリアルさん:04/12/11 22:01:17
どっちでも通じるよ。

466 :名も無きマテリアルさん:04/12/15 00:29:00
ヒロシです・・・。
回転中のTMP(チャンバ下部に設置)にチャンバ内からボルト(?)が落ちたらしいとです・・・。
金網もつけてなかったとです・・・。
アルミの羽がめちゃくちゃになったとです・・・。

467 :名も無きマテリアルさん:04/12/15 01:00:09
>>466 南無
TMPって排気量にもよるけど100万円クラスの装置らしいから、、、

468 :名も無きマテリアルさん:04/12/15 01:55:44
回転翼が急停止すると、その反作用でケーシングが回り出すと聞いた記憶が。

ケーシングが回り出すということは…


ガクブル

469 :名も無きマテリアルさん:04/12/23 12:10:57
TMP2台をタンデムするのと、別々のポートにつけるのとではどちらが排気能力高いんですかねー?
圧縮比を1台よりも上げるため?
排気面積を多くとった方がいいような気がするのですが...

470 :名も無きマテリアルさん:04/12/23 12:22:52
>>469
一文抜けてた2行目
うちの装置は500と150のTMPタンデムなんですが、タンデムの効果がいまいちわかりません

471 :名も無きマテリアルさん:04/12/23 14:48:00
到達圧を低くしたければタンデム、排気速度を稼ぐならパラレル。
ただしタンデムの場合は一発目 (チェンバ側) のポンプからの
脱ガスを充分低くする工夫が必要で、これはそれほど簡単ではない
気がするけれど。

472 :名も無きマテリアルさん:04/12/24 00:15:54
なるほど。勉強不足でした。
ありがとうございます。

一発目のTMPは空冷ピボット型ですが立ち上げ時に吸気側をベーキングしてます。
チャンバベーク後の到達は〜1×10^-7Paくらいです。
もっと下げたいなら水冷磁気浮上型とかなんですかね?



473 :名も無きマテリアルさん:04/12/24 02:00:16
まずタンデムでの利用を想定しているポンプかどうかが問題でしょうね。
標準的にベークした真空システムで単発のターボで 10^-7 Pa ってのは
まあそんなもんかなあ、という感じですが。

「もっと下げたい」への戦略は、チャンバの利用のされ方、チャンバ容積・
表面積、ベーク温度、残留ガスの様子などに左右されるので、ターボの置換
が最適解かどうかは難しいと思います。役に立たないコメントですみませんが。

474 :名も無きマテリアルさん:04/12/25 00:10:22
水素の圧縮比で到達圧力が決定し、
かつTMPのみで高真空排気するような
超高真空チャンバであればタンデムにせざるを得ないでしょう。

TMPは質量が軽い気体の圧縮比が小さいのが欠点といえば欠点でしょう。

475 :名も無きマテリアルさん:04/12/25 21:19:23
そこでクライオですよ。

476 :名も無きマテリアルさん:04/12/26 00:59:43
そこでノーブルイオンポンプですよ。(ぇ

477 :626:04/12/27 15:47:10
ロータリーポンプで真空をひいているのですが、真空容器の蓋の部分をプラスチックの板でふさいであります。
これだと10^2Pa程度までしかひけません。到達圧力は10^(-1)Paとかいてあります。
やはりちゃんとした蓋を作ってもらった方がいいでしょうか?


478 :名も無きマテリアルさん:04/12/27 16:25:22
本体と蓋の間にバイトンゴムの O リングなど
(要するに弾性変形する気密性ゴム) を挟むと
だいぶ良くなると思いますよ。

479 :名も無きマテリアルさん:04/12/27 17:22:24
デシケーターのこと?

480 :名も無きマテリアルさん:04/12/27 19:33:21
本体かフタにはO-リングがはめ込めるようなミゾか、
本体内にO-リングが吸い込まれないような引っかかり
が必要になりますよ。

481 :名も無きマテリアルさん:04/12/28 01:07:11
デシケーターなら apiezon グリースなどでかなり改善される鴨。

482 :名も無きマテリアルさん:04/12/28 08:09:24
グリス使うなって明記してあるデシケーターも有る気がするけど?

483 :477:04/12/28 15:33:45
>478
蓋の側にもプラ板の側にも溝はないのでoリングがつけれません。
接着剤で固めてみたのですが大して変化はありません。やはり空気がもれているのでしょうか。

484 :名も無きマテリアルさん:04/12/28 16:42:30
ふにゃ

485 :名も無きマテリアルさん:04/12/29 13:47:42
ロータリーポンプに繋がるホースのどこかからリークしてないですか?
うちだとオイル逆流防止のためにデシケーター引き終わったらホースはリーク
することになってます。

486 :名も無きマテリアルさん:04/12/29 15:47:51
>>475
ガスソースMBEなんで。クライオは使えないと思います。
それも考えたんですが。

ただ基板ヒーター昇温中のデガスが多くて困ってます。
液窒トラップも使えないんで...
やっぱり基板ヒーター周り水冷した方がいいのかな。
みなさんどうしてるんですかね?

487 :名も無きマテリアルさん:04/12/29 18:36:03
蒸着用に60分待ちっと。

488 :名も無きマテリアルさん:04/12/30 01:56:57
>>487
こんな年の瀬までお疲れさまです。。。
うちは28日にクリーンルームから追い出されました。。。(施設冬休みのため)

489 :名も無きマテリアルさん:05/01/04 02:47:46
新年初ベークsage
只今120℃一日目で5×10-6 Torr

ウイイイイィィ・・・
早く7乗に入らないかな〜

490 :名も無きマテリアルさん:05/01/05 20:22:52
TMPの説明書でGa系のガスを吸引しないこと、とあったけど、
もし吸引したらどうなっちゃうのかな。
単に毒性ガスだから、っていうこと以外に理由があるのかな?
誰か知ってる?

491 ::05/01/05 21:28:52
>>490
うろ覚えですが
Ga系は羽のアルミと結合してボロボロにするんではなかったかと

492 :名も無きマテリアルさん:05/01/05 23:19:29
アルミホイルの上にGaたらすと、ホイルに穴があく。

493 :490:05/01/08 12:26:42
>>491
>>492
遅くなりましたがありがとうございました。


494 :名も無きマテリアルさん:05/01/30 10:37:43
FIBベーキング完了age

495 :名も無きマテリアルさん:05/02/23 16:59:27
ホス

496 :名も無きマテリアルさん:05/03/17 09:57:19
漏れはもう卒業だけど、ここはすごく役に立ったよ・・・
みんなありがとう

497 :名も無きマテリアルさん:2005/03/24(木) 09:34:46
>>496
お疲れサントス ノシ

498 :名も無きマテリアルさん:2005/03/30(水) 02:27:54
>>496
私からもお疲れサントス ノシ

499 :名も無きマテリアルさん:2005/04/19(火) 15:47:43
次にロータリオイルまみれになるB4が現れるのはいつ?

500 :名も無きマテリアルさん:2005/04/19(火) 16:48:00
500

>>499
プチワロスw

501 :、、、:2005/04/19(火) 20:36:33
、、、


502 :名も無きマテリアルさん:2005/04/19(火) 22:09:42
えー、、、ただいまチャンバーベーキング4日目。

503 :名も無きマテリアルさん:2005/04/20(水) 00:29:39
まあこれでも読んで…

ttp://science3.2ch.net/test/read.cgi/material/961414804/221-223

504 :名も無きマテリアルさん:2005/04/21(木) 00:39:14
真空ポンプが爆発した・・・
やってらんねぇ

505 :名も無きマテリアルさん :2005/04/21(木) 01:17:05
爆発する!?ポンプは何?

506 :名も無きマテリアルさん:2005/04/24(日) 10:14:32
理論上爆発しそうなのは拡散ポンプくらいしかないと思うけど・・・

507 :名も無きマテリアルさん:2005/04/24(日) 22:03:42
オイルミストトラップが爆発する(らしい)?ようなことを聞いたこと
があるけど、そういうことじゃないの?

508 :名も無きマテリアルさん:2005/04/28(木) 01:39:44
爆発は言い過ぎました反省。
ロータリーポンプなんだけど、すごい音とともにふたが吹っ飛んで中のオイルがありえないくらい飛び散ったのさ。

509 :名も無きマテリアルさん:2005/04/28(木) 09:36:53
フタって何?

510 :名も無きマテリアルさん :2005/04/28(木) 22:20:02
真空メーカーの人間ですがロータリーポンプを侮ってはいけません。
実際大爆発を起こし人命が失われた事故もありました。
(CVDの実験でしたが)
皆さん、面倒くさがらずロータリーオイルは小まめに変えましょう!
常時運転の水や爆発性ガスでなければ3ヶ月〜半年に一度の交換をお勧めします。

511 :名も無きマテリアルさん:2005/04/29(金) 00:12:39
ロータリーポンプの中の人も大変だな

512 :名も無きマテリアルさん:2005/04/30(土) 02:18:40
アルバックかアネルバか

513 :名も無きマテリアルさん:2005/04/30(土) 04:34:47
10年変えないでいたら、引越しのとき点検にきた
アルバックの人に凄い勢いで怒られますた。

514 :名も無きマテリアルさん:2005/04/30(土) 05:27:11
     ,.. --─ァ‐==、、
    ∠二ミ:::::://  ...::::::ヽヽ、
  r'r'´..::::::::ヽr‐、'、..::::::::::::::/ rl]
  || ...::::::::::/ | l::ヽ、`ー‐'´ノ:ヽ
  r' ヽ、___/ ∧::ヽ;::::::i「:l「::ヽ::::',
  |iTー--r‐'´ ヽ:、ヽヽ:::l|::|ヽ:::ヽ:::!
  |::}:::/|:|:|    ヽ   ヽ!| ! ヾ;:::|::| 馬鹿かお前ら、ここはVIPだ!
  |.:.!/:|::|l:!       -彡-;、リヽ:|
  |.:.||:::l::|リ''テ=ミ    ヘ:;;;ノ |:::|:!  
  |!.:|:::::l::|ハ::;;:ノ      ::::::: |:::|:!
  .!|.||;:::l::|、::: ̄   ,     /川|   __ , -''´i ̄ ̄`゙ヽ、
   |!ヾ!:l:Lヽ     _...,  /リ:/!| //へ|レ^レ彡    `ヽ,--、
   !  lハ::! `''ー- 、.`´ イ  _   ////      | | ヽ   ヾミ ヽ
      , ---、 __ノ   l⌒Y|  V/ //       ヽ!   | !  ハ| ||
     /     、    /   |\ || ! /        ヽ  l| |彡/ | ||
      | __、   ̄ /  /ヽ(.)! | | >=、    -<! | |/ //| || 甘く見るなよ!!
    /: : : : : ヽ   /   /   /|| | | ! |::::'!      /::Lミ||レ// l| ||  
     {: : :r'´--ヽ=:/  /   /7|| |.|゙! L::ノ     L;;ノ ||リクヽ.l| ||  .l⌒!
      |: : :/: :__/  、 '  /-r'┴、!||::::   ,   :::::::: | |!).ノ|| ||  / /
      ト|: : : /:ノ    ヽ、 レ'′ /ハ|'、         //'´  ||Ll/ /
      |: :Y: : /  \   !  /l/: :|| `゙ - ゚..__,.ィ´//_,--'´  、,/
      L; :|: : }    \  l   | !: : ∧  ,. --| //〃:r'´ 、  \ ヽ
      ト|: :.|   \  レ'  /: :: : {〃⌒l Lr' ̄`ヽ |:::| 、  ヽ  〉ノ
      |:ヽ: |     | / ,ィし!: : : ||...::::/r、| ....:::::/ ハ::| `Lヽ レ‐<
      ヽ ヽ|ヽ、  .し'r<ハ!: : : : :|トニノ ヽニニ人ヾヽ、  ̄  >'′
      ∧ ヽ::::`ー‐': : 人: : : : : :| |/::::::::::::::::::::::::::`゙´:::::r`ー'´

515 :名も無きマテリアルさん:2005/07/06(水) 05:20:33
なんかリークしてた

516 :名も無きマテリアルさん:2005/07/07(木) 19:35:41
今年入社した会社の真空蒸着機は油拡散ポンプ(DP)ですぐに10-8乗Torrまで引けます。
絶対真空計壊れてるって思うんですが、先輩方は全然気にして無くて、
報告の蒸着条件にも平気で10-8乗Torrって書いてます。たいした蒸着はしてませんが…

517 :名も無きマテリアルさん:2005/07/12(火) 16:44:42
測定素子を内緒で取り替えてみるとか。
電離でしょ?

518 :名も無きマテリアルさん:2005/07/12(火) 17:37:37
すげえ!!このスレまだ残ってたんだ!?!?!?!?
立てた当時は、まさか4年後に自分がポンプ屋になるとは
夢にも思ってなかったな・・・・

519 :1:2005/07/12(火) 17:38:38
↑忘れてた・・・

520 :名も無きマテリアルさん:2005/07/14(木) 15:29:57
チャンバの容積にも依るかと… > すぐに-8乗台

521 :名も無きマテリアルさん:2005/07/17(日) 11:37:47
DP でベーキングなしですぐに 10^-8 台はさすがにキツイ。
ただ、ゲージポートが液体窒素溜めに対向してたりすると、
見掛け上すごく低い圧力に見えることはあるけど。

522 :名も無きマテリアルさん:2005/07/25(月) 22:37:43
そーいや、地震でターボが逝きかけた。
ホント心臓止まるかと思ったよ。

523 :名も無きマテリアルさん:2005/07/28(木) 21:03:20
ちょっと教えてもらえませんか?
メインバルブ(管の中に円盤が入ってて、直結してるバルブを回すと円盤が
管に対して平行/直交と変わって開放/閉塞状態になるタイプ)に塗っている
真空グリスを塗り替えたいのですが、どう塗ったらいいですか?
いつもは上から覗いて、管の中の円盤のフチの部分(円盤は管に直交(閉塞)状態のまま)に
塗っているのですが、これで正しいのでしょうか?
それとも開放状態にしてからフチに塗るものなんでしょうか?
よろしくおねがいします。

拡散ポンプ内を回転ポンプで引いているのですが、
40[Pa]から下がらないです。で、
拡散ポンプ-M.V.-ベルジャー、と、つながってるM.V.を閉じているのに、
ベルジャーの圧力が微妙に下がっているんです。
M.V.漏れかとは思うので塗り替えようかと…

524 :名も無きマテリアルさん:2005/07/29(金) 01:19:53
>>523
メインバルブに真空グリスなんて塗るもんなの?

525 :名も無きマテリアルさん:2005/07/29(金) 01:42:02
>>524
えっ、塗らないんですか?(M.V.かはともかく、開閉弁みたいなののスキマに)
正式名称知らないんですけど、うちはフタが90度回って管路が開閉するタイプなので、
閉塞した時のスキマを埋めて気密性を上げるために塗ってるんですが…

指導教官が塗り塗りしてるのを見学して、「こうやって塗るんだよー」
ってのを見たことはあるんですけど、詳細がよくわからなくてorz

526 :523=525:2005/07/29(金) 01:43:57
↑525=523=私です。

527 :名も無きマテリアルさん:2005/07/29(金) 22:13:48
そういうのはバタフライバルブと言うな。到達真空度にもよるが、
グリス塗るのもありだろう。ただ 40Pa っつーのは漏れすぎ。
グリスだけでは解決しないと思う。ゴミとかが挟まってんじゃないかな。

漏れなら分解して清掃してからグリスアップするだろうが、慣れないと
作業の段階でキズつけてバルブをおシャカにしたりする可能性も
なきにしもあらずだから、経験のある人と一緒でないとお勧めしない。

いずれにしても指導教官がいるなら、その先生に相談するのが
一番だと思うぞ (いまは独法化したから教官ってのはいないんじゃ、
というのはさておき)。

528 :523=525:2005/07/29(金) 23:05:49
>>527
ありがとうございます。とりあえずグリース塗って調子よくなったので、
とりあえずヨシということにしました。&指導教員にも報告して、ヨシと。

拡散P荒引きで到達目標10[Pa]で、調子イイと0.x[Pa](ピラニの一番下)まで
スッと落ちるんですが、調子悪いと20-40[Pa]でフラフラ…(ベルジャ大気圧のままで)

昨年度に拡散ポンプ大気圧開放でィヤッほーした件(犯人は僕じゃない)もあって、
「いつか全部掃除したいんだけどなぁ…」と言っています。
その際に、指導教官と一緒にバルブ他あわせて掃除の勉強しよう思います。

そうそう、教"官"じゃないんですよね。まったくメンドクサイ。
スレ違いネタですけど、大学院の願書の出身校を
□国立 □私立 □その他  まるまる 大学
…迷うことなく「レ その他」にしますた。

529 :名も無きマテリアルさん:2005/08/20(土) 12:02:05
そういやさぁ、リークしてっかもしんないとこにメタノールぶっかけるっしょ?
んで、其処がリークしてたらどんな反応があるわけ?
真空計の表示が揺れ動くとか?

530 :名も無きマテリアルさん:2005/08/20(土) 21:36:54
>>529
リークの大きさにもよるけど、普通は真空計が振り切れるから分かる。

すごく大きいリークの場合は、ガイスラーの色が変る。

-6 Torrまで排気できているような微小リークの場合、
穴が埋まって逆に真空度が良くなる場合もある。

531 :529:2005/08/21(日) 04:52:48
>>530
レスどうも♪
なんか夏になるとNIG(ヌードイオンゲージ)の表示が揺れ動くモンだから、
ウチのボスがリークじゃねぇかって疑ってて。
メタをどばどばぶっかけても変化無いから、
なんか見当違いの事してるんじゃないかって思ってたw

532 :名も無きマテリアルさん:2005/08/21(日) 09:36:50
おい、おまいら!!

SIがなんと言おうと、このスレでは圧力表記はTorrで統一しる!!


Paじゃ実感わかなくてイヤンヌ。
イチイチ変換するのもマンドクセだし…。

orz

533 :名も無きマテリアルさん:2005/08/21(日) 20:35:58
>>532
100で割ればいいじゃん

534 :名も無きマテリアルさん:2005/08/21(日) 21:01:23
おいらも社内では、Torr しか使わない。

「今どこまで引けた?」
「4乗に入ったところ」
ってPaで言われても実感わかないし、
100で割るのはマンドクセ・・・・

535 :名も無きマテリアルさん:2005/08/23(火) 20:51:48
しかも 4×10^-4 Pa=3×10^-6 Pa だから、
100 で割っただけだと微妙に圧力が悪い気がするんだよなw

でもやっぱまあ慣れないとだめだよこれからは。

536 :名も無きマテリアルさん:2005/08/25(木) 21:25:34
Torr,Paってたとえば物理系,化学系とか?
単に好みかな.
うちは物理系で,Pa表現が一般的です.
でも古い先生だとTorrよく使うな.

537 :名も無きマテリアルさん:2005/08/26(金) 01:45:17
おまえら思いっきりブルーカラーやん。

538 :名も無きマテリアルさん:2005/08/26(金) 20:22:03
>>537
オマイ、Torrが使いこなせなくて悔しいんだな。

539 :名も無きマテリアルさん:2005/08/28(日) 14:12:27
TorrでもPaでもどっちでも構わないけど
せめてどっちかにいい加減統一してくれんもんかね。
うちは装置が何台か有ってTorr表記のとPa表記のが
混在してて面倒。
B4なんてこんがらがってるし。

540 :名も無きマテリアルさん:2005/09/04(日) 21:28:40
真空度なんざ感覚だと思い、
Pa Torr mbarなんざ気にしない俺は少数派ですか?

541 :名も無きマテリアルさん:2005/09/15(木) 01:19:49
>>540
そんなあなたにはバキュームデシケータで十分です

542 :名も無きマテリアルさん:2005/09/16(金) 22:57:03
>>541
いや、それじゃ上等すぎる。
これがいい。
http://www.google.co.jp/search?num=50&hl=ja&inlang=ja&ie=Shift_JIS&oe=Shift_JIS&c2coff=1&q=%95z%92c%88%B3%8Fk%91%DC&btnG=Google+%8C%9F%8D%F5&lr=lang_ja

543 :名も無きマテリアルさん:2005/09/18(日) 23:37:35
>>542
それは真空に分類していいのか・・・?

544 :名も無きマテリアルさん:2005/10/03(月) 13:15:00
圧力ってマイナスの値になるんだっけ?

545 :名も無きマテリアルさん:2005/10/04(火) 01:24:28
>>544
基準に取った方向と逆向きに圧力がかかればマイナスになる

546 :516:2005/10/20(木) 20:50:04
>>517,520,521

情報サンクスです。やはり、真空計壊れてました。
後輩がバルブ操作を間違えて、粗引きのみの状態で蒸着しようとして、
アルミが真っ黒になりました。でも、真空計は−8乗torrでした。
その後、常圧でも−8乗を表示することが判明。

547 :名も無きマテリアルさん:2005/10/22(土) 23:00:43
他大の知人に「DP使っているのはお前の大学くらいだよw」みたいに馬鹿にされたんですが・・・

DPってもう時代遅れ?

548 :名も無きマテリアルさん:2005/10/23(日) 19:34:22
まあたいていはターボなんだろうなあ。
うちの研究室にもあるけどw

549 :名も無きマテリアルさん:2005/10/27(木) 00:32:31
ちょっと古いSEMとかは普通にDP使ってる鴨。

550 :517の中の人:2005/10/27(木) 00:35:41
>>546
お疲れさん。

常圧でも-8乗台って笑えるw
どれだけイオン電流流れるんだと問い質したい気分。

551 :名も無きマテリアルさん:2005/10/29(土) 01:41:14
DP買うならターボ買った方がgoodな気がする

552 :名も無きマテリアルさん:2005/10/29(土) 02:06:48
操作性・メンテ性を考えるとそうだけど、ターボ高ぇよ。

553 :名も無きマテリアルさん:2005/10/29(土) 17:26:51
同じ真空度でもDPよりターボの方がクリーンであるって聞いた事あるんだが

554 :名も無きマテリアルさん:2005/10/29(土) 21:34:25
DPはミクロで見れば油滴が放出されているからな

555 :名も無きマテリアルさん:2005/10/30(日) 15:04:50
>>547
ど素人に使わせることを考えて,研究室とかだと最低1台はDPがあったほうがいいと思う.
うちはメインの装置はたいていTMPだが,そういう用途用に1台DPの蒸着器が残してある.


556 :名も無きマテリアルさん:2005/10/30(日) 15:24:10
そういえば、DPって常圧状態から引けたんだっけ?
それとも粗引き必要だっけか。

557 :名も無きマテリアルさん:2005/10/30(日) 17:10:30
>>556
粗引き必須ですお。ロータリポンプでポンポンポンポン…

558 :名も無きマテリアルさん:2005/10/30(日) 18:46:57
>>555
ターボもDPも原理さえわかっていれば、操作に関しては大差ないと思うが

559 :名も無きマテリアルさん:2005/10/30(日) 20:21:40
DPは、壊れたところで真空度が上がらなくなるくらいだ。
大気導入してもたかが知れている。

TMPは…。

TMPをぶら下げてる実験装置が 架 台 ご と 歪 む という話を聞いたことがあるぞ。
TMPの大きさにも依るとは思うけれども。

560 :名も無きマテリアルさん:2005/10/30(日) 20:40:35
-10乗torr台で突然、ターボが逝ったらどうなるんだろう・・・

爆発?


ガクガクブルブル

561 :名も無きマテリアルさん:2005/10/30(日) 22:59:14
爆発はせんと思うけど。
ロータリーが繋がっているならば、油が装置全体の回る。

562 :名も無きマテリアルさん:2005/10/30(日) 23:24:31
高速回転してるターボの羽根の運動エネルギーはものすげえわけで。
工場なんかのでかいターボだと、ケーシングから飛び出してそのへんの
ブツを薙ぎ倒しながらすっ飛んでいったとかいう話もあるらしい
(都市伝説の類かもしれんが)。

563 :名も無きマテリアルさん:2005/10/31(月) 21:45:45
ウチのボスはロータが吹っ飛ぶことを竹とんぼと表現する。

飛んだところを見たことがあるのかとw




実際のところは、大気導入したときにロータがケーシングにぶち当たる
のを言いあらわしている訳だが。

564 :名も無きマテリアルさん:2005/11/10(木) 22:51:01
すえーじろっくのフェルールとかナットって
けっこー高いのね.知らなかった.

565 :名も無きマテリアルさん:2005/11/10(木) 23:04:00
だからこそ互換品がゴチャマンと存在しうる。

会社に入って知ったけど、互換とは明記しないまでも
組み合わせても使えるっていう製品は4,5社を下らない。

中にはマユツバなメーカもあったりするけど。

566 :名も無きマテリアルさん:2005/11/15(火) 02:34:55
このスレの住人って何研究している人が多いの?

567 :564:2005/11/19(土) 12:05:31
>565

thx

安く手に入るように
さがしてみます

568 :名も無きマテリアルさん:2005/12/09(金) 21:42:14
膜圧計のシャッターがお亡くなりだ…orz
窒素圧かけてもちっとも動かん!
卒論前に大気リーク決定だよ…
デコピン一発で直りそうなもんだが、誰か同じ事経験した香具師いるけ?

569 :名も無きマテリアルさん:2005/12/10(土) 01:00:39
TMPの動作中に電離真空計の測定子にものを落として
ぶっ壊した俺様が来ましたよ。

(TMP自体は奇跡的になんともなかった)

570 :名も無きマテリアルさん:2005/12/10(土) 20:43:57
真空の単位がよく分かりません。
どなたか教えて頂けますか?

571 :名も無きマテリアルさん:2005/12/10(土) 22:53:06
真空の単位など無い。

在るのは「圧力」の単位だけだボケ。

572 :名も無きマテリアルさん:2005/12/11(日) 00:06:35
>>571
子供っぽいよ。

573 :名も無きマテリアルさん:2005/12/11(日) 01:36:25
で?

574 :名も無きマテリアルさん:2005/12/11(日) 10:20:16
単位ではないけど、真空の度合いを示すなら

極高真空 > 超高真空 > 高真空 > 中真空 > 低真空 > 大気

>>570さん
以下の解説はどうでしょうか?
ttp://www.ulvac.co.jp/firstvisit/index2.html



575 :名も無きマテリアルさん:2005/12/11(日) 19:57:16
極高真空なんてあるのか。はじめて知った。

チラシの裏すまそ。

576 :568:2005/12/16(金) 17:25:02
>569
そのTMPクオリティタカスwwwwwwww

そして膜厚計の導入部からのリークがここ一週間止まらない件。
あー逃げてぇ

577 :名も無きマテリアルさん:2005/12/16(金) 17:33:28
つ エポキシ

578 :名も無きマテリアルさん:2005/12/17(土) 11:53:18
中で水漏らしちゃった・・・・

ベークもできそうにないし・・

579 :名も無きマテリアルさん:2005/12/21(水) 02:49:46
基盤交換恐怖症

580 :名も無きマテリアルさん:2005/12/28(水) 18:56:16
質問があります。

・ターボがキンキン言い出すのって壊れる前兆なんですか?あと、この音は
 どっから聞こえてくるんですか?
・ターボの寿命って(あるとすれば)何hくらいですか?

詳しい方教えてくださいお願いします。

581 :名も無きマテリアルさん:2005/12/29(木) 01:42:15
固定が悪いと台と共振してでかい音がすることがあります。
本体でしてるとすると、熱膨張とかで接触があるのかも。
あとグリス式のやつだったら、定期メンテは必須。

数万時間以上持っているターボが身の回りにはたくさん
ありますが、製品によっては 2 年くらいで壊れてしまう
こともあるそうです。あと、ON/OFF を頻繁に行ったり、
ガスの負荷をかけたりするともちろん寿命は短くなります。

582 :名も無きマテリアルさん:2006/01/05(木) 12:23:21
うーん…冬だったこともあり温度は30℃前後だったので、熱膨張ってこと
はないと思うんですけどねえ。
70000h近く稼動しているのは頑張っているほうですか?

583 :名も無きマテリアルさん:2006/01/06(金) 18:04:35
>>582
さすがに 7万h 経過後の不調は、自分なら寿命と思って
あきらめると思いますw 連続運転で 7 年以上だもんなあ。

584 :名も無きマテリアルさん:2006/01/28(土) 16:23:32
>>582-583
ざっと8年になる罠
新しいの買っても怒られないと思われ

585 :名も無きマテリアルさん:2006/02/05(日) 23:50:27
はい、DPの油を逆流させてしまいました。
鬱。

586 :名も無きマテリアルさん :2006/02/14(火) 12:03:30
この前、基板加熱してたらどこからか
リークしていて、基板加熱版が真っ黒になった。



587 :名も無きマテリアルさん:2006/02/17(金) 01:26:09
皆さんはターボを止めたあとベントバルブを緩めてますか?
RPからの油の逆流を防ぐためにやったほうがいいって聞いたことが
あるんですけど。
あと、電力投入していないフリーラン状態(つまり、中の動翼が惰性だけで
回り続けている状態)ってターボにとって良くないんですか?

588 :名も無きマテリアルさん:2006/02/17(金) 08:12:31
>>587
どんな世界の住人ですか?

RPを使う限り,油の逆流を防ぐためにポンプ側のリークバルブは
つかった後は開けておく必要がある.
これは先に何がつながってるかにかかわらず同じ.
ちなみに,油逆流はDPだとギャグになってもTMPだとシャレにならないので注意.

あと,システムにもよるけどTMPは使用していない時も真空中に
保持するのが普通.それと,TMPのフリーラン状態はいいも悪いもないと思われ.
ただ,何かトラブルがないと通常運転時からフリーランに落ちることはないので
そういう意味で縁起が良くない.


589 :名も無きマテリアルさん:2006/02/18(土) 02:26:30
>>588
RF Sputteringです。
この前ターボを止めたとき、電力投入が0になっているのを確認した
あとベントバルブをゆっくり開けてみたら

「ギュゥゥゥゥゥゥゥゥゥゥゥウウウウウウウンンンン」

という結構大きい音が聞こえてきて(多分、動翼がトルクを受けて減速して
いる音だと思うけれども)、気になったんで投稿した次第です。

590 :名も無きマテリアルさん:2006/02/18(土) 08:03:42
大気導入乙

591 :名も無きマテリアルさん:2006/02/18(土) 09:22:00
>>589
スパッタに使ってるTMPならたぶん大気導入大丈夫だろうから死なないだろうが,
回転停止まで待たない理由がわからない.

まあ,相当運が悪くない限り何もおきていないと思われ.


592 :名も無きマテリアルさん:2006/02/20(月) 16:56:28
金を蒸着(基板加熱あり)した後、エタノール
でチャンバー内を掃除すると黒いすすが全体的
に付着しているのですがこれは金そのものなの
でしょうか?
また数回蒸着していると金は掃除しても
取れなくなるものなのでしょうか?

誰かご教授をお願いします。

593 :名も無きマテリアルさん:2006/02/21(火) 01:00:53
Auの超微粒子だお。

594 :名も無きマテリアルさん:2006/02/21(火) 13:12:51
数回蒸着しても頑張れば取れる。アルミナ粉とか使わんとならんかもしれんが。

595 :名も無きマテリアルさん:2006/02/21(火) 19:31:31
いっぱい蒸着したほうが取りやすいと聞いたことあります。
厚みが増して、ポロリとハゲるらしい。

596 :名も無きマテリアルさん:2006/03/07(火) 00:41:45
なんかターボ回ってるときはあんま近寄りたくないことない?
万一ぶっ壊れたとき凄そうで・・・。あの羽根ってえげつない速度で
回ってるし、殻ぶち破ってきそうで怖い(w

597 :名も無きマテリアルさん:2006/03/07(火) 01:30:24
ケーシング(殻)って結構分厚いから耐えるお。



多分w

598 :名も無きマテリアルさん:2006/04/15(土) 11:39:50
中の人まで真空になってるのでリークage

599 :名も無きマテリアルさん:2006/04/17(月) 20:59:21
         ハ,,ハ
        ('(゚∀゚∩_ おいらをどこかのスレに送って!
      /ヽ   〈/\ お別れの時にはお土産を持たせてね!
     /| ̄ ̄ ̄|.\/
       | .モツ煮..|/
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現在の所持品:たばこ・ライター・コーヒー・ブラックブラック・枕・ケータイ電話
睡眠薬・聖教新聞 ・ダッチワイフ・外付けSCSI340MHDD・地図帳・EGF・粉石鹸

600 :助けて:2006/04/29(土) 06:54:13
質問です。
蒸着して、すべての工程を終えて、電源をきったら、最後に
ロータリーリークバルブをあけますよね?
一度開けたら、閉めても大丈夫ですよね?
油は上がってこないですよね?

601 :名も無きマテリアルさん:2006/04/29(土) 17:42:39
>>600
俺が学生だった頃は特にそんなことは言われなかったが、
TMPの電源を切ってもまだしばらくは惰性でタービンが回ってるから、
リークバルブを閉めた段階でまだタービンが回っていると(音がしない程度でも)、
タービンの内外で圧力差が発生して最悪油が上がってくる可能性はある。
リークバルブを開けておけばその部分は大気圧だから逆流することはまず無い。
だから、どっちかと問われたらリークバルブは開けておいた方が無難だと思う。

602 :名も無きマテリアルさん:2006/04/29(土) 23:10:44
リークバルブが閉じてあるとリークし忘れたんじゃないかと不安に思われるから,
リークが終わっても開けておいた方が無難だと思う.


603 :助けて:2006/04/30(日) 00:39:29
確かにそうですね、
昨日実験をしたんですが、今日の朝に、リークバルブをどうしたか気になって
かなりあせりましたからね。

604 :名も無きマテリアルさん:2006/05/01(月) 15:59:45
真空めんどくさいやめたい

605 :名も無きマテリアルさん:2006/05/02(火) 17:52:09
DPしか使ったことありませんが何か?

606 :名も無きマテリアルさん:2006/05/02(火) 23:35:03
>>605
DP使うならRPも当然使うんでないの?

フリーズドライ作りたい、ので連休中にMyポンプで鮭の切り身を引いてみよう。
楽しみ。

607 :名も無きマテリアルさん:2006/05/03(水) 17:59:00
>>600
チャンバーを真空に保ったままなのだから、
荒引バルブを開けなければ
ロータリーポンプ内のリークバルブ操作のみなのだから
関係ないでしょ?

608 :名も無きマテリアルさん:2006/05/03(水) 20:51:07
>>607
TMPのタービンよりチャンバ側までには油が来ちゃう可能性が残るからね
チャンバが汚れる危険はできるだけ避けたい

609 :名も無きマテリアルさん:2006/05/03(水) 23:11:33
ターボポンプとロータリーのラフバルブ閉めておけば問題ないでしょ?

610 :名も無きマテリアルさん:2006/05/04(木) 00:45:37
あー
うちにはターボとロータリーの間はトラップだけでラフバルブなかったからなー
ラフバルブあるなら油の件はいいのかもしらんけど
>>602みたいなこともあるからやっぱ開けておいた方がいいかも

611 :名も無きマテリアルさん:2006/05/04(木) 02:45:03
>>609
自分の経験だとバルブがTMPとRPの間にあってもポンプをリークしないと,
TMPがおじゃんになる.
バルブで1回は止まるんだけど,その後何回か運転してるうちに上に上がって来るのか,
TMPが油まみれになって洗浄に出す羽目になった.


612 :名も無きマテリアルさん:2006/05/08(月) 00:45:26
2ch最古参級のこのスレで
久々に活気のようなものを見たw

613 :名も無きマテリアルさん:2006/05/08(月) 19:28:16
スパッターや蒸着はやっぱり、クライオポンプが一番いいなぁ。

614 :名も無きマテリアルさん:2006/05/09(火) 20:50:58
いや、ターボだろ。

615 :名も無きマテリアルさん:2006/05/10(水) 23:42:28
いや、両方だろ。

616 :名も無きマテリアルさん:2006/05/13(土) 19:03:01
いやクライオだろ。

617 :名も無きマテリアルさん:2006/05/13(土) 23:33:44
とりあえずオイルフリーロータリーも忘れないでやってくれよ。

618 :名も無きマテリアルさん:2006/05/14(日) 14:18:41
オイルフリーで、-5?くらいまで引くか?

619 ::2006/05/14(日) 14:19:29
?=Pa


620 :名も無きマテリアルさん:2006/05/16(火) 02:41:35
でもまーTMPにしろ大気から引けないポンプ使うなら
ロータリーは心の友のはず。

621 :名も無きマテリアルさん:2006/05/18(木) 21:01:39
うちのディフュージョン10時間くらい引くのにかかるんだが

622 :名も無きマテリアルさん:2006/05/19(金) 01:16:47
>>621
ファイナルどれくらい?

623 :名も無きマテリアルさん:2006/05/19(金) 19:37:06
オイル量チェックしてる?

624 :名も無きマテリアルさん:2006/05/24(水) 14:48:10
DPオイルが逆流してしまい、チャンバーがオイルで汚れた場合、どうやって掃除すれば良いのか困っています。どなたかご教授お願いいたします。


625 :名も無きマテリアルさん:2006/05/24(水) 16:40:00
>>624

汚れかたによる
どれぐらいよごれたか、かいてみれ

626 :名も無きマテリアルさん:2006/05/24(水) 17:36:55
むかしはトリクロロエチレンを染ませたキムワイプで一所懸命拭いたものだが、
いまはもうトリクレン使わなくなってるからなあ。イソプロパノールとか?

627 :名も無きマテリアルさん:2006/05/27(土) 03:14:06
ふつうアセトンとエタノールでは?

628 :名も無きマテリアルさん:2006/05/27(土) 08:24:34
ウチの会社はアセかIPAですな。
槽内洗浄。

べべべ別にしょっちゅうおおおオイル逆流させてるワケじゃないっすよ。
ししし真空チャンバ積んだ装置つつつ造ってるんですってば。

629 :名も無きマテリアルさん:2006/05/27(土) 08:58:23
>>628
IPAってイソプロパノールアルコール?
アセはアセトンでオーケー?

630 :627:2006/05/27(土) 10:12:37
>>629
無視かよ ハゲ!

631 :名も無きマテリアルさん:2006/05/27(土) 12:06:41
オイルが入った、ついでに付着物も
とかいうなら、
一度、パーツをばらして
スコッチブライトあたりで磨いて
中性洗剤で洗って、純水につけて、
アセトンで超音波かければOK

チャンバー自体も、磨いて
丁寧にアセトンで拭けばOK

どう考えても、体に悪いので、
若い連中にやらせる方向で


632 :名も無きマテリアルさん:2006/05/27(土) 16:15:12
汗:汗トン
VIPA:磯プロピル有るコール (磯プロパノール)

633 :名も無きマテリアルさん:2006/05/27(土) 18:57:17
>>631
アセトンって使うと目が痛くならない?
スパッタの話をしているんだよな?

634 :名も無きマテリアルさん:2006/05/27(土) 19:19:02
>>633
馬鹿?

635 :名も無きマテリアルさん:2006/05/27(土) 23:44:33
皆さんとてもわかりやすく説明してくださり、ありがとうございます。
昨日アセトンでやってみて、今ベーキングしているところです。


636 :名も無きマテリアルさん:2006/05/27(土) 23:58:00
発泡スチロールにアセトンかけると面白いよ。

637 :名も無きマテリアルさん:2006/05/28(日) 13:30:35
>>632
アセトンは揮発性の溶剤で人体に余り良くないよ 
俺はアセトン拭きする時は必ずマスクを装着していたが

638 :名も無きマテリアルさん:2006/05/28(日) 19:03:05
有機溶剤は通常揮発性。
マスクは吸収缶タイプじゃないと意味ないよ。
布マスクとかだと。

639 :名も無きマテリアルさん:2006/06/03(土) 10:47:03
一応保守。

640 :名も無きマテリアルさん:2006/06/18(日) 20:26:24
ヌードゲージってフィラメントだけ交換できるんですよね?
グリッドにタングステンの酸化物がびっしり付いてる状態じゃもうダメなのかな…

641 :名も無きマテリアルさん:2006/06/22(木) 12:37:42
有機溶媒は基本的に発がん性だから気をつけろよな

まぁ俺は吸いまくってるけど

642 :名も無きマテリアルさん:2006/07/02(日) 13:25:22
大気圧から使えるターボがあるらしい?と聞いたのですが
それは本当でしょうか?

643 :名も無きマテリアルさん:2006/07/02(日) 14:52:35
本当ですよ

644 :名も無きマテリアルさん:2006/07/09(日) 13:24:10
あるらしいな うちは予算なくて組めなかったけど

645 :名も無きマテリアルさん:2006/07/09(日) 23:09:13
そんなん使っても、
バックポンプがRPだったらあんまし変わらんと思う

646 :名も無きマテリアルさん:2006/07/12(水) 23:35:41
書き逃げかよ!

647 :名も無きマテリアルさん :2006/07/18(火) 09:24:49
図書館で「真空」
で検索すると
真空とび膝蹴り・・という本が最初に出てくるんだよ
絶対、洒落で入荷してるよ

648 :ご冗談でしょう?名無しさん :2006/07/18(火) 23:20:09
無意味にガスケットの材質を金にしてみたいと思ったことない?

649 :名も無きマテリアルさん:2006/07/19(水) 18:49:24
ない。
グラム数チェックするし。

650 :名も無きマテリアルさん:2006/07/25(火) 21:37:14
>>647
沢村忠ナメんな

651 :名も無きマテリアルさん:2006/07/26(水) 20:50:43
テーパーシールガスケットってのがイイらしいんだが…

誰か使ってる人いる?

652 :名も無きマテリアルさん:2006/08/20(日) 19:43:27
RPとDPを使ってるんだけど、この前止めたときにRPをリークさせるのを忘れた気がするんだけど
これってやばい?やばくない?

653 :名も無きマテリアルさん:2006/08/20(日) 20:39:37
最近の RP なら逆流防止弁がついてるから多分平気。
大昔の RP は回転を止めると油が真空側に吸い出されるので、
停止したらリークしましょうね、ということになっていた。
TP-RP の系なんかだと RP リークはしないことも多いしね。


654 :名も無きマテリアルさん:2006/08/20(日) 20:57:03
なるほど、確か1990年代前半の遺品だった気がする。
それぞれにつながってるバルブは全部閉じたのは覚えがあるんだけど・・・


655 :名も無きマテリアルさん:2006/08/20(日) 23:14:53
>>653
逆流防止弁がついていてもポンプはリークするものだと思うんだけど…
TMP-RPの系でRPリークしないというのも聞いたことがないし.ほんと?

まあ,RP-DPの系なら最悪自分でお掃除すればいいだけなんで,
気にすることは何もないんだけど.

656 :名も無きマテリアルさん:2006/08/21(月) 12:41:46
DPの水冷用の管がどっかでつまったっぽい・・・
どうしよ・・・

657 :名も無きマテリアルさん:2006/08/22(火) 01:26:32
>>656
つポット洗浄中

658 :名も無きマテリアルさん:2006/08/26(土) 21:46:30
RPじゃなくて、スクロール使えばいいのに。

659 :名も無きマテリアルさん:2006/08/27(日) 12:32:07
DPの冷却水のチューブ踏んづけたら、SEM止まった
今度の新型SEMはすげぇぜ!・・・って何がだよ


660 :名も無きマテリアルさん:2006/09/05(火) 21:26:38
おまいらチャンバーのベイキングってどうやってる?

昔の研究室はリボンヒーター巻いて
その周りをアルミホイルの2重にした奴で上手く密封してた
→ 3x10-11 torr

今の研究室は断熱の板で箱作ってチャンバーを密封して
中にコイルのヒーターを置く
→ 良くて10-10 torr

ぶっちゃけめんどい、密封するだけで半日仕事
チャンバーを包むのに良い板や布などないかなぁ

661 :名も無きマテリアルさん:2006/09/05(火) 22:00:45
>>660
うちはリボンヒーターを適当に巻き付けるだけで何もしない.
真空度は下と同じくらいだが,有機物用のチャンバーだから
そんなもんかなと思ってる.

周りに燃えるものがなければ,温度にもよるのだろうが包む必要があるのか疑問.


662 :名も無きマテリアルさん:2006/09/05(火) 23:17:04
>661
サンクス、先生は「リボンヒーター使うと部屋が熱くなるので止めた」と言ってた
あと密封して、暖まった空気で暖めると温度ムラが出ないとか
でも、リボン巻き付けるだけが楽で良いんだろうなぁ

ちなみに今日、暖まりにくい部分のために、低ワット数のリボンヒーター買ったのだが
リボンヒーターって初回は空焚きして煙り出すんだったよな、忘れてた


663 :名も無きマテリアルさん:2006/09/06(水) 00:28:08
>660
世の中にはベーキング機構組み込んだチャンバーっつう代物も存在するらしいが

664 :名も無きマテリアルさん:2006/09/06(水) 10:13:09
ヒーターの電源切った
さてどこまで下がるかな♪
このひとときの楽しみの為、
アルミホイル巻きも苦にならないw

665 :名も無きマテリアルさん:2006/09/07(木) 03:49:12
-10乗入らないかなぁ
ゲートバルブ交換で改善されてっかなー

666 :名も無きマテリアルさん:2006/09/11(月) 22:26:25
あぁ、懐かしき真空待ち。
もう一度真空待ちのという一時を味わいたい。

667 :名も無きマテリアルさん:2006/09/12(火) 00:43:24
今まで、RP・DP組み合わせの蒸着機を使っていたんだが
もうそろそろ古いので買い替えの話が上がってて
オイルフリーのターボ分子P・クライオPの組み合わせで考え中。
メンテナンスってオイル交換ないから楽かな?

668 :名も無きマテリアルさん:2006/09/13(水) 01:22:47
オイル交換だってそんな面倒じゃないじゃん
結局必要最低限で一番安いポンプ買うことになるのさ。・゚・(ノД`)・゚・。

669 :名も無きマテリアルさん:2006/09/14(木) 15:23:34
ちょっとチャンバーの中いじりたいが
せっかく10^-7 Paいってるチャンバーを開けたくないなー
作業する間、部屋全体を真空にしたい (・ω・`)

670 :ぼるぼん:2006/09/14(木) 20:41:07
すごい真空だな…
もう絶対開けるな、もったいない。

671 :名も無きマテリアル:2006/09/17(日) 09:56:12
ちょっとお尋ねしたいのですが、deep vacuumの日本語、ご存じの方いらっしょいますか?
低真空?中真空?まったくど素人なので、お願いします。

672 :名も無きマテリアルさん:2006/09/17(日) 16:04:51
約1週間べーク継続中。
あー真空あがんね…

673 :名も無きマテリアルさん:2006/09/17(日) 21:17:47
1週間ってすごいですね
真空度どれくらいが目標なんでしょう?

674 :名も無きマテリアルさん:2006/09/17(日) 22:10:20
目標は-8乗Pa前半代です。
まぁ、ほとんど初焼きに近いんで、厳しいかもしれないです。
ただいま7E-6Pa@120℃。
台風も来てるしそろそろ降温始めるか。

675 :名も無きマテリアルさん:2006/09/17(日) 22:23:01
わけわからん日本語打ってしまった。
訂正。
目標は-8乗Pa前半です。

676 :ご冗談でしょう?名無しさん:2006/09/28(木) 23:08:34
このスレまだあったんだ。
漏れが、卒研の時の奴だよな。

677 :名も無きマテリアルさん:2006/10/04(水) 20:17:22
みなさん教えてください<(_ _)>

アルミのフランジに傷を付けてしまい、リークが直りません・・・・
スコッチブライトで磨いてもダメ、微小にリークするのです。

何使ったら綺麗さっぱりなおりますか?

678 :名も無きマテリアルさん:2006/10/05(木) 00:51:42
アルミフランジにも使えるものなのかどうなのか分かりませんが
エッジを使わずにシールするIPDガスケットとかいうものがあったりします
(私も使ったことは無いのですが・・・)
http://www.sev-vacuum.com/j_contents/products/cf_g/ipd.html

ちなみにアルミフランジ(アルミチャンバー)をどういった装置に
使ってらっしゃるのか興味があるんでもし差し支えなければ教えてください

(ULVACはアルミフランジの製造終了したらしいですね・・・)

679 :677:2006/10/05(木) 20:22:49
>>678
レスありがとうございます。

搬送室がアルミで、ふたのシール面を傷つけてしまったんです。

リンク先のガスケットは使ったことがありませんが、今使っている物と交換って訳には
いかないですよね?
それに、シールする面の傷をなおさないと、どのみち使えないでしょうから・・・


680 :名も無きマテリアルさん:2006/10/06(金) 11:31:52
>>677
#400→#800→#1200→#2000→仕上に金属研磨剤

681 :677:2006/10/07(土) 12:14:17
>>680
れすありがとうございます。
結局研磨剤で鏡面仕上げにしてやらんとダメですか、でもコンパウンド使っちゃうと
なかなかデガスが止まないので、出来るだけ使いたく無かったんですよね。

で、結局研磨剤入りのゴム(細目)でO-リングに当たる面にそって磨いて終了しちゃいました。
アルミは難しいです。

みなさんありがとうございました<(_ _)>

682 :名も無きマテリアルさん:2006/11/10(金) 20:30:25
スパッターあまりやると、癌になるよ。
強い電磁波で。
他にも。

683 :名も無きマテリアルさん:2006/12/19(火) 21:51:09
19:50:処理室(通常3×10^-11torr)のゲートバルブを開ける
19:51:処理室のSIPを切る
19:52:イオンガンのデガス開始
20:00:ArスパッタのためArガスを暴露開始
20:03:TMPの回転が急に落ちる,NIG異常停止(4乗代より悪い)
20:10:TMP復活
20:15:NIG7乗代へ
20:20:Qマスに水のピークが…。しかもArのピークの比じゃなく多い
20:25:NIG8乗代へ
21:30:NLG 9乗代前半へ
21:40:イオンポンプ再生 
21:45:9乗代後半まで真空度が悪くなるもイオンポンプの
ゲージは安定→ゲートバルブ閉鎖←今ここ


684 :名も無きマテリアルさん:2006/12/19(火) 23:17:24
ホラー英語並に恐怖だな.特に20:03のあたりとか.
なにはともあれ復活おめ?(まだか)


685 :名も無きマテリアルさん:2006/12/19(火) 23:39:26
>>684
論文(プロシー)締め切り1ヶ月前の追い込みの時期にショックだよ。
油逆流とかしてないとうれしいんだが…。

ちなみに現在2.93×10^-11[torr]TMPの回転が急に落ちた原因は
TMPのリークバルブに足があたったことによるみたい。

TMPは罵詈案製、しかも新品の350。TMPをLS(36KRPM)にして空気を入れて止める直前に
TMPのリークバルブを指で押してみると、TMPの回転数が落ちだすし…。

こんなことは初めてだ。(トランスファーロッド操作時に足が近くにくるので
前々から危険とは思っていたんだが)

>なにはともあれ復活おめ?(まだか)

TMPだけで1×10^-9までいったんで、SIPのみで引いた状態で
このくらいまではいくだろうが、問題は3×10^-11まで引くかどうかだ。
9乗代でSIP動かしてるからゲージもけっこうヤバソウだしもう泣きそう。


素直にベイクというのが王道っぽいんだが、いったん大気開放するといろいろな
パラメータが変わるからやりたくないし。(4乗まで悪くしたらいろんなもんデガスせんと
不味い気もするが)








686 :名も無きマテリアルさん:2006/12/20(水) 00:08:49
リークバルブからなら油の逆流はないでしょ.
まあ,自分は -9乗までしか知らない人間なのであとはよくわかりませんが,
単純ミスする時は寝たほうが良いよとだけ言っとく.

687 :名も無きマテリアルさん:2006/12/20(水) 01:11:29
いや、
TMP←→ロータリー
と接続してるので、TMPの回転が止まると超高真空側とロータリー
側が直繋ぎに近い状態になり、ロータリー側から超高真空側に油が
入り込むのではないかと…。最近ロータリーの引き悪いし。

一応フォアラインとラップはかましているが…。

>単純ミスする時は寝たほうが良いよとだけ言っとく.
確かに。

というか、ロータリーにフォアライントラップを接続する部分の
ネジも緩んでいて、フォアライントラップが勝手に動き出すし…。
どういう管理のしかたをしてたんだ管理者は…。


って俺か。

688 :名も無きマテリアルさん:2006/12/20(水) 01:30:07
>>687
TMPが停止した原因がリークバルブからの気体の進入なら
TMPの側の方がロータリー直後よりも真空度が低いはずだから
油は上がってこないかなあと.

なんか自分の認識の甘さを晒してる気がしてきたので退散.

689 :名も無きマテリアルさん:2006/12/20(水) 01:56:06
>>688
確かに。俺がどうかしていた。
というかまじ泣きそう。

今1.73×10-9トル
>>685の値はミスで
2.93×10-9トル

したがって1時間で1×10^-9トルぐらい引いてる。
イオンポンプでorz。

690 :名も無きマテリアルさん:2006/12/20(水) 18:46:05
スパッターあまりやると、癌になるよ。
強い電磁波で。
他にも。


691 :通りがかり:2006/12/25(月) 13:34:36
>>689
Q-Massの値で、かなり現状が分かるはず、水や酸素や窒素や二酸化炭素などが入っているはず。
クラッキングパターンを考慮すれば、オイルが入っているかどうかも判断できると思う。オイルが
入っていたら泣くだろうが、私だったら時間が無いときに水が入った段階で泣きそうになる。
しかし、9乗まで引けているのなら、大して汚れていないような気がする。私だったら素直に、
真空引きをしたまま注意深くあちこちをメンテして(くれぐれも事故のないように)、その後
1日くらいベーキングするが、いかが。検討を祈る
 というか、もしかしてQ増すの性能が悪いとか???

692 :天ノ川 創:2006/12/25(月) 15:41:17
アマテラス降臨!

693 :名も無きマテリアルさん:2007/01/03(水) 19:15:44
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